Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

KLA-Tencor Introducerar det Nya Övervaka-Rånet KontrollSystemet för ICEN Marknadsför

Published on September 5, 2008 at 10:33 AM

I Dag introducerade KLA-Tencor Corporation Surfscanen SP2XP, ett nytt övervaka-rån kontrollsystem för det inbyggt - gå runt (IC) marknadsför att bygganden på framgången av dess syster bearbetar med det samma känt, introducerat för det fabriks- rånet marknadsför i fjol. Den nya Surfscan SP2XP särdrag förbättrade känsligheten hoppar av på silikoner som är poly och, belägger med metall filmar och förhöjde kapacitet att sortera hoppar av vid typ och storleksanpassar, jämfört med dess föregångare, denledande Surfscanen SP2. Den presenterar också dammsuger bruk och bäst-i-klassificerar genomgång. Dessa kapaciteter planläggs för att möjliggöra chipmakers för att komma med deras framkantapparater för att marknadsföra snabbare, genom att leverera den processaa överman, bearbetar övervakningalltigenom det fab. Det nya systemet introducerar också ultra-kick känslighetsett fungeringsfunktionsläge för att accelerera fabss utveckling av apparater för nästa generation 3Xnm och 2Xnm.

”Ser Producenter av kickkapacitetsapparater att komplexiteten av gå i flisor-danandet som processaa förhöjning, som marknadsför fönster för dessa apparater, drar åt samtidigt,” observerade Mike Kirk, vicepresident och den allmänna chefen av RånKontrollGruppen på KLA-Tencor. ”Tilltalar det Surfscan SP2XP systemet behovet snabbt att sjunka processaa bearbetar som frambringar överdriven defectivity, så att problemet kan korrigeras med det minsta rånet, skrota, avkastningförlust och marknadsföra fördröjningen. Våra nya bearbetar tilltalar denna utmaning, inte endast till och med befordringar i känslighet och genomgång, men också genom att introducera kapaciteten för att skilja partiklar från microscratches och rest utan behovet att förbruka resurser på SEM 2000, granska. Vi tror Surfscan de SP2XP ska hjälpfabsna accelererar produktion av deras framkantapparater.”,

Opto-Mekaniskt och signalera bearbeta förbättringar planläggs att se till att tillfångatagandet av även det minst hoppar av på kala rån, såväl som bekläda-avslutar och baksida-avslutar filmar. Unikt patenterat mång--kanalisera arkitektur, och innovativa algoritmer möjliggör det Surfscan SP2XP systemet automatiskt för att göra åtskillnad mellan hoppar av typer. Bearbeta levererar också överlägsen genomgång till det av föregående-utvecklingen, bransch-ledande Surfscan SP2 och att möjliggöra fabs för att kontrollera mer rån per timme eller för att använda en högre känslighetsinställning utan förlust av genomgång. Surfscanen SP2XP försvarar plattform anseende för att matcha för pålitlighet, lindra-av-bruk och för system.

Starkt intressera i det Surfscan SP2XP systemet har resulterat i flera beställer från fab utrustningproducenter såväl som ledande logik- och minnesfabs i Asien, Förenta staterna och Europa. Den Januari 2007 frigöraren av denbehandlande versionen av det Surfscan SP2XP systemet, för det fabriks- rånet marknadsför, har snabbt nått brett marknadsför godtagande, med installationer av multipelsystem på varje ledande rånproducent.

SUMMARISK TEKNOLOGI

Förbättringar till mekaniskt, optiskt och signalera-att bearbeta undersystem möjliggör systemet för det Surfscan SP2XP övervaka-rånet kontroll för att leverera flera fördelar över dess föregångare, denledande Surfscanen SP2. Dessa inkluderar:

  • Upp till 36 procent genomgångsökning resultera från en kombination av ändringar i opto-mekaniker, elektronik och programvara
  • Unikt patenterat mång--kanalisera arkitektur, som möjliggör det Surfscan SP2XP systemet automatiskt för att skilja partiklar från microscratches, annullerar, watermarks och andra rest
  • Inledningen av Ultra-Kicken Känslighetsfunktionsläget som låter det Surfscan SP2XP systemet användas för utveckling av nästa generation, gå i flisor
  • En opto-mechnical innovation, som förhöjer hjälpmedlets känslighet hoppar av på buse filmar liksom polysiliconen, tungsten, och förkopprar. Samman med plattform riktlinjekänsligheten släta på filmar, den nya kapaciteten låter den Surfscan SP2XP plattformen vara den använda alltigenom de fab, därmed eftergivena potentiella förbättringarna till den fabs fungeringseffektiviteten
  • En ny differentiell störningskontrast (DIC) kanaliserar, som möjliggör tillfångatagandet av grunt, lägenheten och svimmar hoppa av-av-intresserar liksom rest eller bula-allt av vilka kan resultera i apparatfel, bestämt för avancerade apparater
  • Nyligen fördjupat hoppa av storleksanpassa kapacitet, förbättrat att leverera hoppar av binning exakthet för snabbare ID av hoppa avkällan

Last Update: 23. January 2012 22:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit