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KLA - Tencor公司推出新的顯示器晶圓檢測系統,為 IC市場

Published on September 5, 2008 at 10:33 AM

今天, KLA - Tencor公司推出的Surfscan SP2XP,一個新的顯示器晶圓的集成電路(IC)市場,建立具有相同名稱的成功後,其姐妹工具的檢查制度,為晶圓製造市場推出去年。新的Surfscan SP2XP功能提高了靈敏度,矽,多晶矽和金屬薄膜上的缺陷和增強能力缺陷類型和大小進行排序,與它的前身,行業領先的Surfscan SP2相比。此外,它還採用真空處理和最佳的吞吐量。這些功能設計,使芯片製造商,使他們的領先設備市場提供卓越的過程中刀具監控整個工廠的更快。新系統還引入了一個超高靈敏度操作模式,加快工廠“發展的3Xnm和2Xnm下一代設備。

“高性能設備的製造商都看到了芯片製造過程中增加的同時,這些設備的市場窗口緊縮的複雜性,”觀察,KLA - Tencor的晶片檢測集團副總裁和總經理邁克柯克。 “的Surfscan SP2XP系統地址需要迅速標誌過程中產生過多的缺陷的工具,使問題可以糾正最小的晶圓廢料,產量損失和市場延遲。我們的新工具,解決了這一挑戰,不僅通過先進的靈敏度和吞吐量,而且還通過引入能力來區分,而不需要耗費資源的SEM審查 microscratches和殘留物顆粒。我們相信的Surfscan SP2XP將有助於晶圓廠加速他們的領先設備的生產。“

光學機械和信號處理的改進設計,以確保即使是最小的裸晶圓的缺陷捕捉,以及前端和後端的電影。獨特的,專利的多通道架構和創新的算法使的Surfscan SP2XP系統自動區分缺陷類型。該工具還提供了出色的吞吐量與上一代,業界領先的Surfscan SP2,使工廠檢查每小時晶圓或使用無損失的吞吐量更高的靈敏度設置。的Surfscan SP2XP堅持平台的可靠性,易於使用的聲譽和系統匹配。

有濃厚興趣的Surfscan SP2XP系統已導致在晶圓廠設備製造商以及領先的邏輯和記憶體晶圓廠在亞洲,美國和歐洲的幾個訂單。 2007年1月釋放的邊緣處理的Surfscan SP2XP系統版本,晶圓製造市場,已迅速得到市場的廣泛認可,與多個系統安裝在每一個領先的晶圓製造商。

技術摘要

機械,光學和信號處理子系統的改進,使的Surfscan SP2XP顯示器晶圓檢測系統,以提供比它的前身,行業領先的Surfscan SP2的幾個優點。這些措施包括:

  • 高達 36%的吞吐量提高光力學的變化,電子和軟件的組合產生
  • 獨特的,專利的多通道架構,使的Surfscan SP2XP系統自動區分 microscratches,空洞,水印和其他殘留物顆粒
  • 超高靈敏度模式的引入,使的Surfscan SP2XP系統可用於下一代芯片的開發利用
  • 一種光電機械式的創新,增強了工具的敏感性缺陷粗糙的電影,如多晶矽,鎢,銅。連同平台的基準靈敏度在光滑的薄膜,新的能力,使整個工廠的Surfscan SP2XP平台,從而產生潛在改善晶圓廠的經營效率
  • 一個新的微分干涉對比(DIC)的通道,使如殘留物或淺,平面和淡淡的利益缺陷捕獲的顛簸,所有這些都可以導致設備故障,特別是對先進的設備
  • 新擴展的缺陷定量能力,提供更快的缺陷源識別改進的缺陷分級精度

Last Update: 3. October 2011 03:41

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