KLA-Tencor Εισάγει Τελευταίες αεροπλάνο Wafer τεχνολογίας επιθεώρησης

Published on September 30, 2008 at 10:17 AM

Σήμερα KLA-Tencor Corporation εισήγαγε ο κύβος-to-βάση δεδομένων έκδοση των τελευταίας τεχνολογίας επιθεώρησης μάσκα του, Wafer Επιθεώρηση Αεροπλάνο (TM) (WPI). WPI επιτρέπει αιχμής λογική και χυτήριο ιθύνοντες μάσκα για την ανίχνευση ταυτόχρονα ατέλειες στη μάσκα και να αξιολογήσει εάν τα ελαττώματα που είναι πιθανόν να εκτυπώσετε από την γκοφρέτα. Για πρώτη φορά, αυτή η δυνατότητα είναι διαθέσιμη για single-die reticles και πολλαπλών πεθαίνουν reticles με μη επαναλαμβανόμενα πεδία.

"Πολλές εφαρμογές θα επωφεληθούν από τις νέες δυνατότητες WPI του πεθαίνουν-to-βάση δεδομένων», σημείωσε ο Zain Saidin, διευθύνων σύμβουλος της μηχανικής και γενικός διευθυντής της σταυρόνημα KLA-Tencor και Photomask Τμήμα Επιθεώρησης. "High-end τσιπ γραφικών και high-end προγραμματιζόμενες συσκευές τείνουν να είναι κατασκευασμένα σε single-die reticles επειδή τα τσιπ είναι τόσο μεγάλες. Οι photomasks που περιέχει διαφορετικές μάρκες για πολλούς πελάτες συχνά χρησιμοποιούνται από τα χυτήρια ως μέσου βελτίωσης της αποτελεσματικότητας. Για να διευκολύνει την ταχύτερη εκμάθηση κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης, οι κατασκευαστές μάσκα τόπος πολλών εκδόσεων μιας πεθαίνουν σε ένα σταυρόνημα. Τέλος, ορισμένα ελαττώματα επανάληψη στην ίδια θέση του κάθε πεθαίνουν. Die-to-die και κυττάρων-να-cell λειτουργίες δεν λειτουργούν σε αυτές τις καταστάσεις. Με δυνατότητα πεθαίνουν-to-βάση δεδομένων, WPI επιτρέπει τον εντοπισμό της εκτυπώσιμη ελαττώματα σε όλες τις reticles-όχι μόνο αυτούς με την επανάληψη των δομών. "

Η απαράμιλλη ανάλυση των εικόνων που δημιουργούνται από TeraScan σύστημα ελέγχου σταυρόνημα KLA-Tencor επιτρέπει WPI για τον υπολογισμό όχι μόνο το πώς το φως φωτίζει την άνω επιφάνεια του photoresist επί του δίσκου (η «εναέρια-επίπεδο της εικόνας»), αλλά και πώς η photoresist ανταποκρίνεται (η «γκοφρέτα-επίπεδο της εικόνας»). Η γκοφρέτα-επίπεδο της εικόνας με μεγαλύτερη ακρίβεια προβλέπει ελαττώματα που είναι πιθανόν να εκτυπώσετε από την γκοφρέτα.

Photomask κατασκευαστές στην Ταϊβάν, η Ιαπωνία και οι Ηνωμένες Πολιτείες έχουν εγκαταστήσει WPI σε TeraScan τα συστήματα ελέγχου τους, και έχουν επωφεληθεί από την εξουσία της να επιταχύνει την ανάπτυξη μάσκα, την παραγωγή και τα προσόντα. Νέα πεθαίνουν σε βάση δεδομένων ικανότητα WPI είναι μέρος της ένα ευρύ χαρτοφυλάκιο προϊόντων που προέρχονται από KLA-Tencor σχεδιαστεί για να αντιμετωπίσει τα ζητήματα μετρολογία και τον έλεγχο των προηγμένων σχηματομόρφωσης.

Last Update: 6. October 2011 13:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit