KLA-Tencor Introduit la Plus Défunte Technologie d'Inspection de Plan de Disque

Published on September 30, 2008 at 10:17 AM

Aujourd'hui KLA-Tencor Corporation a introduit la version de matrice-à-base de données de sa dernière technologie d'inspection de masque, l'Inspection Plate de Disque (TM) (WPI). WPI permet aux générateurs de pointe de masque de logique et de fonderie de trouver simultané des défauts sur le masque et de les évaluer si les défauts sont susceptibles d'estamper sur le disque. Pour la première fois, cette capacité est disponible pour des réticules d'unique-matrice et des réticules de multiple-matrice avec les zones de non-répétition.

« Plusieurs applications tireront bénéfice de la capacité neuve de la matrice-à-base de données de WPI, » ont noté Zain Saidin, officier en chef de bureau d'études et directeur général de la Division d'Inspection du Réticule et du Photomask de KLA-Tencor. « Des puces À Extrémité Élevé de graphiques et les dispositifs programmables à extrémité élevé tendent à être fabriqués sur des réticules d'unique-matrice parce que les puces sont si grandes. Des Photomasks contenant différentes puces pour les abonnées multiples sont souvent employés par des fonderies afin d'améliorer l'efficience. Pour faciliter apprendre plus rapidement pendant le développement, les générateurs de masque mettent des multiples versions d'une matrice sur un réticule unique. En Conclusion, la répétition de quelques défauts dans le même emplacement du chaque meurent. les modes de Matrice-à-Matrice et de cellule-à-cellule ne fonctionnent pas dans ces situations. Avec la capacité de matrice-à-base de données, WPI active le dépistage des défauts imprimables sur tous les réticules-non juste ceux avec répéter des structures. »

L'unique définition des images produites par le système de contrôle de réticule de TeraScan de KLA-Tencor permet à WPI de prévoir non seulement comment la lumière illumine la première surface du vernis photosensible sur le disque (l'image d'aérien-plan de `'), mais également comment le vernis photosensible répond (l'image de disque-plan de `'). L'image de disque-plan prévoit plus exactement quels défauts sont susceptibles d'estamper sur le disque.

Les générateurs de Photomask Taïwan, au Japon et aux Etats-Unis ont installé WPI sur leurs systèmes de contrôle de TeraScan, et ont tiré bénéfice de son alimentation électrique d'accélérer le développement, la production et la qualification de masque. La capacité neuve de la matrice-à-base de données de WPI fait partie d'un portefeuille grand des produits de KLA-Tencor a conçu pour aborder les questions de métrologie et d'inspection de la structuration avancée.

Last Update: 17. January 2012 08:07

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