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KLA-Tencor नवीनतम वेफर विमान निरीक्षण प्रौद्योगिकी परिचय

आज KLA-Tencor निगम अपनी नवीनतम मुखौटा निरीक्षण प्रौद्योगिकी, वेफर विमान (टीएम) निरीक्षण (डब्ल्यूपीआई) के मरने के लिए डेटाबेस संस्करण की शुरुआत की. थोक मूल्य सूचकांक अग्रणी बढ़त तर्क और फाउंड्री मुखौटा निर्माताओं समवर्ती मुखौटा पर दोष का पता लगाने और आकलन है कि दोष वफ़र पर मुद्रित होने की संभावना हैं करने की अनुमति देता है. पहली बार के लिए, इस क्षमता एकल reticles गैर दोहराए जाने वाले क्षेत्रों के साथ मरने और कई मरने reticles के लिए उपलब्ध है.

"कई अनुप्रयोगों डब्ल्यूपीआई नई क्षमता मरने के लिए डेटाबेस से लाभ होगा" Zain Saidin, मुख्य इंजीनियरिंग अधिकारी और KLA-Tencor लजीला व्यक्ति और Photomask निरीक्षण डिवीजन के जनरल मैनेजर ने कहा. "उच्च अंत ग्राफिक्स चिप्स और उच्च अंत प्रोग्राम उपकरणों के लिए एकल मरने reticles पर निर्मित हो जाते हैं क्योंकि चिप्स बहुत बड़े हैं. एकाधिक ग्राहकों के लिए अलग अलग चिप्स युक्त Photomasks अक्सर दक्षता में सुधार के एक साधन के रूप में ढलाई के द्वारा किया जाता है. विकास के दौरान तेजी से सीखने की सुविधा के लिए, मुखौटा निर्माताओं एक एकल लजीला व्यक्ति पर एक मरने के एकाधिक संस्करणों जगह. अंत में, कुछ दोष हर मरने के एक ही स्थान में दोहराएँ. मरो - मरने और सेल सेल मोड इन स्थितियों में काम नहीं करते. मरने के लिए डेटाबेस की क्षमता के साथ, थोक मूल्य सूचकांक पर मुद्रण योग्य दोष का पता लगाने के सभी reticles न सिर्फ सक्षम बनाता है उन दोहरा संरचनाओं के साथ. "

KLA-Tencor TeraScan लजीला व्यक्ति निरीक्षण प्रणाली द्वारा उत्पन्न की छवियों की अद्वितीय संकल्प डब्ल्यूपीआई न केवल गणना कैसे प्रकाश वफ़र पर photoresist की ऊपरी सतह ('हवाई विमान छवि') illuminates, लेकिन यह भी कैसे photoresist के जवाब की अनुमति देता है ('वेफर विमान छवि'). छवि वफ़र-विमान अधिक सही भविष्यवाणी दोष जो वफ़र पर मुद्रित करने के लिए की संभावना है.

ताइवान, जापान, और संयुक्त राज्य अमेरिका में Photomask निर्माताओं उनके TeraScan निरीक्षण प्रणाली पर डब्ल्यूपीआई स्थापित है, और इसके लिए मुखौटा विकास, उत्पादन और योग्यता में तेजी लाने के सत्ता से लाभ. डब्ल्यूपीआई नई क्षमता मरने के लिए डेटाबेस मैट्रोलोजी और निरीक्षण करने के लिए उन्नत patterning के मुद्दों को संबोधित करने के लिए डिज़ाइन KLA-Tencor से उत्पादों की एक व्यापक पोर्टफोलियो का हिस्सा है.

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