KLA-Tencor Wafer Memperkenalkan Teknologi terbaru Inspeksi Pesawat

Published on September 30, 2008 at 10:17 AM

Hari ini KLA-Tencor Corporation memperkenalkan versi mati-untuk-teknologi terbaru database topengnya inspeksi, Wafer Pesawat Pemeriksaan (TM) (WPI). WPI memungkinkan terdepan logika dan pembuat topeng pengecoran untuk bersamaan mendeteksi cacat pada topeng dan menilai apakah cacat cenderung mencetak pada wafer. Untuk pertama kalinya, kemampuan ini tersedia untuk single-mati reticle dan multiple-mati reticle dengan non-berulang bidang.

"Beberapa aplikasi akan mendapatkan keuntungan dari kemampuan baru WPI mati-untuk-database," kata Zain Saidin, direktur teknik dan general manager dari KLA-Tencor reticle dan Photomask Divisi Inspeksi. "High-end chip grafis dan high-end perangkat diprogram cenderung diproduksi pada single-die reticle karena chip yang begitu besar. Photomask mengandung chip yang berbeda untuk beberapa pelanggan sering digunakan oleh pengecoran sebagai sarana meningkatkan efisiensi. Untuk memfasilitasi belajar lebih cepat selama pengembangan, pembuat topeng tempat beberapa versi mati di sebuah reticle tunggal. Akhirnya, beberapa cacat ulangi di lokasi yang sama meninggal setiap. Mati-untuk-mati dan sel-sel mode tidak bekerja dalam situasi ini. Dengan mati-untuk-database kemampuan, WPI memungkinkan deteksi cacat cetak pada semua reticle-bukan hanya mereka dengan struktur berulang. "

Resolusi tak tertandingi dari gambar yang dihasilkan oleh sistem pemeriksaan TeraScan KLA-Tencor reticle memungkinkan WPI untuk menghitung tidak hanya bagaimana cahaya menerangi permukaan atas photoresist pada wafer (yang 'udara-pesawat gambar'), tetapi juga bagaimana photoresist merespon (yang 'pesawat gambar wafer'). Gambar wafer lebih akurat memprediksi pesawat yang cacat cenderung mencetak pada wafer.

Pembuat photomask di Taiwan, Jepang dan Amerika Serikat telah menginstal WPI pada sistem TeraScan mereka inspeksi, dan mendapat keuntungan dari kekuasaan masker untuk mempercepat pengembangan, produksi dan kualifikasi. WPI baru mati-untuk-database kemampuan adalah bagian dari portofolio produk dari KLA-Tencor dirancang untuk mengatasi masalah metrologi dan inspeksi dari pola maju.

Last Update: 6. October 2011 13:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit