Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

KLA-Tencor Introduceert de Recentste Technologie van de Inspectie van het Vliegtuig van het Wafeltje

Published on September 30, 2008 at 10:17 AM

Vandaag introduceerde KLA-Tencor Corporation de matrijs-aan-gegevensbestand versie van zijn recentste technologie van de maskerinspectie, de Inspectie van het Vliegtuig van het Wafeltje (TM) (WPI). WPI staat leading-edge logica en gieterijmaskermakers toe om te beoordelen tekorten op het masker gelijktijdig te ontdekken en of de tekorten waarschijnlijk op het wafeltje zullen afdrukken. Voor het eerst, is dit vermogen beschikbaar voor enig-matrijzendradenkruisen en veelvoudig-matrijzendradenkruisen met niet-herhaalt gebieden.

„Verscheidene toepassingen zullen van het matrijs-aan-gegevensbestand van WPI nieuw vermogen profiteren,“ nam nota van Zain Saidin, belangrijkste techniekambtenaar en algemene manager van het Dradenkruis van KLA-Tencor en de Afdeling van de Inspectie Photomask. „High-end de grafiekspaanders en high-end de programmeerbare apparaten neigen om op enig-matrijzendradenkruisen worden vervaardigd omdat de spaanders zo groot zijn. Photomasks die verschillende spaanders voor veelvoudige klanten bevatten wordt vaak gebruikt door gieterijen als het verbeteren van efficiency. Om sneller het leren tijdens ontwikkeling te vergemakkelijken, plaatsen de maskermakers veelvoudige versies van een matrijs op één enkel dradenkruis. Tot Slot herhalen sommige tekorten in de zelfde plaats van elke matrijs. Matrijs-aan-Matrijs en de cel-aan-cel wijzen werken niet in deze situaties. Met matrijs-aan-gegevensbestand vermogen, laat WPI opsporing van geschikt om gedrukt te worden tekorten op alle dradenkruis-niet enkel die met het herhalen van structuren toe.“

De onvergelijkelijke die resolutie van de beelden door het systeem van de het dradenkruisinspectie van TeraScan van KLA-Tencor worden geproduceerd staat WPI toe om te berekenen niet alleen hoe het licht de hoogste oppervlakte van photoresist op het wafeltje (het lucht-vlakke beeld `') verlicht, maar ook hoe photoresist antwoordt (het wafeltje-vlakke beeld `'). Het wafeltje-vlakke beeld voorspelt nauwkeuriger welke tekorten waarschijnlijk op het wafeltje zullen afdrukken.

De makers van Photomask in Taiwan, Japan en de Verenigde Staten hebben WPI op hun TeraScan inspectiesystemen, geïnstalleerd en van zijn bevoegdheid geprofiteerd om maskerontwikkeling, productie en kwalificatie te versnellen. Het het matrijs-aan-gegevensbestand van WPI nieuwe vermogen maakt deel uit van een brede die portefeuille van producten van KLA-Tencor worden ontworpen om de metrologie en inspectiekwesties te behandelen van het geavanceerde vormen.

Last Update: 14. January 2012 20:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit