Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Carl Zeiss מריץ רכישת Pixer Technology

Published on October 2, 2008 at 11:32 AM

אחרי הסגירה הרשמית של הרכישה האחרונה שלה בכרמיאל (ישראל) מבוסס Pixer טכנולוגיה בע"מ, Carl Zeiss SMT של מטרולוגיה סמיקונדקטור מערכות חלוקה (SMS) מציגה חבילת המובילים בשוק של לולאה סגורה פתרונות המוצר SEMICON אירופה (שטוטגארט, גרמניה) ו SPIE / BACUS Photomask סימפוזיון (מונטריי, קליפורניה).

"אנו שמחים להודיע ​​כי רכישת Pixer הטכנולוגיה רשמית נסגר וכי יש לנו אותחל שילוב של פעולות, מו"פ קווי מוצרים לתוך ה-SMS", אמר ד"ר אוליבר Kienzle, חבר מועצת המנהלים של חטיבת SMS Carl Zeiss SMT של . 'בפעם הראשונה, נוכל להציג את הפתרונות תיק המורחב שלנו עבור מוצר שליטה, ההסמכה המטרולוגיה, תיקון קריטי מימד photomask (CDC). עם התחכום הגובר של ליתוגרפיה אופטית כגון ליתוגרפיה טבילה ו דפוסים כפולה, אנו מבינים כי מקבלי מסכת מתמודדים מפרט מסכת הדוקה יותר, בפרט עבור כיסוי אחידות מימד קריטי ", הסביר Kienzle והמשיך:" עם רכישת Pixer האחרונות יש לנו טכנולוגיה נוספת חיזק תיק הטכנולוגיה שלנו מסוגלים להציע ללקוחותינו פתרונות מקיפים כדי להתאים את האתגרים הללו ". לדוגמה, אחידות בדרישות הדוק CD יכולה להיות מושגת לאחר מסכת ייצור על ידי מערכת CDC200 מהפכנית. עם חלון התהליך וכתוצאה מכך גדל בתהליך ליתוגרפיה, יצרני IC מסוגלים להגדיל את התשואות של סוף הקו שלהם ולהפחית את עלויות הייצור שלהם.

Pixer Technology פיתחה ייחודי שיפור טכנולוגיות תשואה עבור photomasks בייצור מוליכים למחצה, באה לידי ביטוי כיום שני קווי מוצרים: CDC200 הוא הראשון בתעשייה על לטוס, פתרון משולב לבקרת ברזולוציה גבוהה ממד ביקורתי (CDC), המאפשר הן יצרניות מסכה IC התעשיינים לשלוט תקליטורים מקומי (מידות קריטי), כמו גם לשפר באופן משמעותי על אחידות CD גלובליים ומקומיים ברחבי מסכות ופלים במהלך פעולות ליתוגרפיות. את קו המוצרים השני, גלילאו, מאפשרת מדידה מיפוי מהירות גבוהה של העברת השפלה DUV על מסיכות הייצור עם רגישות לשינויים שידור של 0.1%. עוצב עבור מיפוי מסיכות הייצור Fab לזהות תשואה ונושאים CDU השפלה כגון אובך, זה יכול להיות מנוצל על החסר בנוסף מצופה הן קוורץ Mosi.

Last Update: 4. October 2011 23:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit