卡尔蔡司执行Pixer技术收购

Published on October 2, 2008 at 11:32 AM

Pixer科技有限公司, 卡尔蔡司SMT的半导体计量系统部(SMS)的正式关闭其最近Karmiel(以色列)基于收购后呈现其闭环的产品解决方案的市场领先的套房在Semicon欧洲(德国斯图加特) SPIE / BACUS光罩研讨会(蒙特雷,CA)。

“我们是高兴宣布,收购Pixer技术已正式被封闭和我们有初始化操作的整合,ř&ð和产品线到SMS”,说博士奥利弗KIENZLE,卡尔蔡司SMT的短信司董事会成员。 “这是第一次,我们将能够显示我们扩大产品的解决方案组合光罩资格,计量,维修和临界尺寸控制中心(CDC)。随着光学光刻技术,如浸没式光刻技术和双重图形的复杂性,我们知道,面膜制造商正面临着更严格的面具规格,特别是在临界尺寸均匀性和覆盖“,解释KIENZLE并继续:”随着近年来Pixer科技收购,我们进一步加强我们的技术组合,能够为客户提供全面的解决方案以满足这些挑战。“例如,实行更严格的CD均匀性要求,可实现由革命CDC200系统后的光掩膜制造。由此造成的增​​加过程中的光刻工艺窗口,IC制造商能够提高他们的行结束的产量和降低其制造成本。

在半导体生产光掩膜目前反映在两个产品线,Pixer技术开发了独特的产量提高技术CDC200是业界第一个上的实时,高分辨率的关键尺寸控制中心(CDC)的综合解决方案,使双方面膜庄家和IC制造商,以控制当地的CD(临界尺寸),以及在平版印刷业务横跨口罩和晶圆后,全局和局部的CD均匀的改善。第二条产品线,伽利略,使灵敏度0.1%的传输变化对生产口罩的深紫外传输退化的高速测量和绘图。映射在厂生产的口罩,以确定产量和基民盟退化的问题,如阴霾的设计,它可另外利用石英和MOSI涂空白。

Last Update: 3. October 2011 05:35

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