Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Auto SE från HORIBA Jobin Yvon Segrar Utmärkelsen 2008 för Systemet för IC-Bransch den Nya

Published on October 10, 2008 at 11:24 PM

HORIBA Jobin Yvon behas för att meddela den unika AutomatiskSEN som vinnaren av Utmärkelsen 2008 för Systemet för IC-Bransch den Nya.

AutoSEen från Horiba Jobin Yvon.

IC-BranschUtmärkelsearna är en igenkänd plattform som låter halvledarebranschen bedöma produkterna och övar portion branschen.

Den nya AutomatiskSEN är den enda enkla inbyggda spectroscopic ellipsometerlösningen för att bestämma tjocklekarna och de optiska konstanterna av tunna lagrar och mång- lagrar.

Detta nya tunt filmar mätning bearbetar har planlagts att uppfylla thin filmar kvalitets- kontrollerar krav. Det ger full automation (ladda, justeringen som kartlägger), det automatiserade valet av 8 som den olika fläcken storleksanpassar besegrar till µm 25x60 och ett unikt inbyggt visionsystem. Det kontrolleras av den intuitiva Auto Mjuka programvaran, som möjliggör tryckknappen filmar thin analys för den rutinmässiga funktionen, med avancerat iscensätta, och servar funktionslägen som är tillgängliga för att karakterisera nya material.

”Tror Vi att den Auto SEN är en ha som huvudämnevändpunkt för spectroscopic ellipsometry, som den ger exakt tunt filmar kvalitets- kontrollerar mycket snabbt och enkelt. Den unika avbilda kapaciteten av det MyAutoView visionsystemet visar exakt var mätningsfläcken förläggas, så det är ideal för mönstrat att karakterisera tar prov. Vi är stolt att motta denna utmärkelse på vägnar av det Tunt Filmar Uppdelning, som den Auto SEN är resultatet av de tunna fortlöpande försöken filmar allra stabsmedlemmar” sade Denis Cattelan, Direktör av HORIBA Jobin Yvon Filmar Thin Uppdelning.

Last Update: 24. January 2012 01:14

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit