ASML Holding Καινοτομίες αποκαλύπτει στην Πλατφόρμα Λιθογραφία TWINSCANTM

Published on October 15, 2008 at 9:01 PM

ASML Holding NV ανακοίνωσε σήμερα τις καινοτομίες στην πλατφόρμα TWINSCANTM λιθογραφία του ότι προσφέρουν σημαντικές βελτιώσεις στην επικάλυψης και της παραγωγικότητας, ώστε η βιομηχανία ημιαγωγών να συνεχίσει τον χάρτη πορείας της για την πιο προηγμένη και προσιτές μάρκες. Η TWINSCAN NXT πλατφόρμα, παρουσίασε στα μέσα ενημέρωσης κατά την αναθεώρηση Έρευνας ASML είναι επίσης κατάλληλο για τις αναδυόμενες διπλό σχηματομόρφωσης τεχνικές που οι κατασκευαστές πρέπει να συρρικνωθεί το μικρότερο χαρακτηριστικά τσιπ έως και κατά 42 τοις εκατό.

Η TWINSCAN NXT πλατφόρμα διαθέτει ένα νέο επίπεδη σκηνογραφία πλακιδίων, την επέκταση του σπονδυλωτή αρχιτεκτονική TWINSCAN (εκ των οποίων περίπου 900 συστήματα έχουν πωληθεί) για πολλαπλές γενιές ASML μηχανών λιθογραφία. Παρέχοντας μια βάση για την περαιτέρω βελτίωση των επιδόσεων, η νέα τεχνολογία στάδιο γκοφρέτα είναι το κλειδί για συνεχίζοντας την τάση των επιθετικών chip μείωση του κόστους και στο μέλλον.

Χάρη σε μια νέα αντίληψη και καινοτόμων υλικών, το στάδιο γκοφρέτα είναι σημαντικά ελαφρύτερο από τις προηγούμενες γενιές. Αυτό, σε συνδυασμό με ένα κομψό σχεδιασμό που μειώνει γενικά έξοδα, παρέχει τη δυνατότητα μεγάλης επιτάχυνσης για μικρότερες θέσης (αναβάθμιση) φορές. Ως αποτέλεσμα, η πλατφόρμα θα βελτιώσει αρχικά την παραγωγικότητα κατά περισσότερο από 30 τοις εκατό.

Επιπλέον, ένα νέο σύστημα μέτρησης θέσεις τοποθέτησης του σταδίου γκοφρέτα ακόμα μεγαλύτερη ακρίβεια από ό, τι στα σημερινά συστήματα. Η επακόλουθη βελτίωση υπέρθεση των 50 τοις εκατό θα βοηθήσει τους κατασκευαστές αποκτήσουν καλύτερο έλεγχο της διαδικασίας τους, ώστε να μπορούν να παράγουν πιο καλές μάρκες ανά wafer και περαιτέρω συρρίκνωση των μεγεθών τρανζίστορ.

"Χαρακτηριστικό συρρικνωθεί οδηγεί τον κλάδο των ημιαγωγών προς τα εμπρός, επιτρέποντας μικρότερες μάρκες με μεγαλύτερη λειτουργικότητα και λιγότερη κατανάλωση ρεύματος," λέει ο Martin van den Brink, εκτελεστικός αντιπρόεδρος της ASML του μάρκετινγκ και της τεχνολογίας. "Νέα συστήματα μας φέρνουν βελτιώσεις που θα βοηθήσουν τσιπ εικόνα κατασκευαστές μικρότερα χαρακτηριστικά γνωρίσματα. Η καλύτερη τοποθέτηση πλακιδίων προσφέρει περισσότερο έλεγχο απεικόνισης και καλύτερη επικάλυψη. Σε συνδυασμό με τη βελτίωση της παραγωγικότητας, η TWINSCAN NXT πλατφόρμα ανοίγει το δρόμο για διπλό σχηματομόρφωσης τεχνικές που επιτρέπουν στους κατασκευαστές τσιπ την πάροδο του χρόνου να χρησιμοποιήσει την υπάρχουσα τεχνολογία λιθογραφία εμβύθισης για την παραγωγή όγκου των 32 νανομέτρων κόμβο και πέρα. "

Last Update: 7. October 2011 01:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit