Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Νέο, πιο ισχυρό λογισμικό ανάλυσης για Λεπτών Υμενίων από HORIBA εταιρεία Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA εταιρεία Jobin Yvon , ο μεγαλύτερος κατασκευαστής των φασματοσκοπικών ellipsometers για την έρευνα και τη βιομηχανία, προσφέρει μια προηγμένη πλατφόρμα λεπτό χαρακτηρισμό ταινία που ονομάζεται DeltaPsi2. Το λογισμικό ισχύει για ελλειψομετρία, πολωσιμετρία και Reflectometry και ελέγχει όλες τις HORIBA εταιρεία Jobin Yvon λεπτό εργαλεία μετρολογίας φιλμ.

DeltaPsi2 λογισμικό παρέχει προηγμένες μετρήσεις, μοντελοποίηση και αναφορών για ακριβή και ευέλικτη χαρακτηρισμό των λεπτών δομών ταινία.

Τα χαρακτηριστικά του περιλαμβάνουν τον υπολογισμό του πάχους, οπτικών σταθερές, κλίσεις, ανισοτροπία, σύνθεση του κράματος, bandgap υπολογισμό, τραχύτητα της επιφάνειας, EMA, διορθώσεις πίσω μέρος, σε συνδυασμό πολλαπλών μετρήσεων / ανάλυση των δεδομένων και πολλά άλλα.

Ενσωματώνει τη μεγαλύτερη βάση δεδομένων υλικών των αναφορών και των σχέσεων διασποράς που απαιτούνται για τον ακριβή χαρακτηρισμό του υλικού οπτικών σταθερές.

Οι πρόσφατες βελτιώσεις επικεντρώθηκαν σε αυτόματες λειτουργίες μοντελοποίησης όπως είναι η αυτόματη τοποθέτηση των διαδικασιών και παραμετροποίηση των σχέσεων διασποράς για ευκολία στη χρήση και την ταχύτητα της ανάλυσης. Επίσης, ενσωματώνει τις τελευταίες εξελίξεις στον χαρακτηρισμό των περιοδικών δομών (1D, 2D σχάρες).

Τα Fab ellipsometers όπως το UT-300 και FF-1000, και in-line ellipsometers (για παράδειγμα roll to roll όργανα παρακολούθησης) επίσης από την πλατφόρμα DeltaPsi2 λογισμικού. Το λογισμικό περιλαμβάνει ένα πλήρως αυτοματοποιημένο λειτουργικό περιβάλλον και την προηγμένη πρωτόκολλα επικοινωνίας (RS232, TCP / IP) για ισχυρή λεπτό έλεγχο μετρολογίας φιλμ. DeltaPsi2 λογισμικό παρέχει τυποποιημένο οπτικοποίηση των αποτελεσμάτων της χαρτογράφησης πάνω στο πλακίδιο ημιαγωγών και γυάλινες οθόνες, στατιστική ανάλυση, τα προηγμένα διαχείρισης δεδομένων, εισαγωγή / εξαγωγή λειτουργία πακέτο, και τις δυνατότητες επεξεργασίας.

Πρόσφατα, HORIBA εταιρεία Jobin Yvon εγκαινίασε το νέο Auto SE, μια πλήρως αυτόματη ellipsometer για τον ποιοτικό έλεγχο των λεπτών υμενίων. Με γνώμονα το νέο Auto μαλακό πακέτο λογισμικού που περιλαμβάνεται στην πλατφόρμα DeltaPsi2, αυτό το νέο πρωτοποριακό λογισμικό έχει σχεδιαστεί για να παρέχει εύκολη λειτουργία του ellipsometric ανάλυση χωρίς συμβιβασμούς στην ποιότητα των στοιχείων.

Last Update: 4. October 2011 08:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit