Logiciel d'Analyse Neuf et Plus Puissant pour des Films Minces de HORIBA Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon, le premier constructeur d'ellipsometers spectroscopiques pour la recherche et l'industrie, offre à une plate-forme avancée de caractérisation de film mince DeltaPsi2 appelé. Le logiciel s'applique à ellipsometry, polarimétrie et réflectométrie et contrôles tous les instruments de métrologie de film mince de HORIBA Jobin Yvon.

Le logiciel DeltaPsi2 fournit des mesures, la modélisation et des capacités de reporting avancées pour la caractérisation précise et flexible des structures de film mince.

Les Caractéristiques techniques comprennent le calcul des épaisseurs, des constantes optiques, des gradients, de l'anisotropie, de la composition d'alliage, du calcul de bandgap, de l'aspérité, de l'AME, des corrections de postérieur, des mesures combinées multi/des données d'analyse et plus.

Elle intègre la plus grande base de données de matériaux des références et des rapports de dispersion exigés pour la caractérisation précise des constantes optiques matérielles.

Des améliorations Récentes ont été concentrées sur des fonctionnements de modélisation automatiques comprenant des procédures convenables automatiques et la paramétrisation des rapports de dispersion pour la simplicité d'utilisation et la vitesse de l'analyse. Elle comporte également les dernières avances dans la caractérisation des structures périodiques (1D, 2D grilles).

Des ellipsometers Ouvriers tels que l'UT-300 et le FF-1000, et les ellipsometers intégrés (par exemple rouleau pour rouler des instruments de surveillance) sont également pilotés par la plate-forme logiciel DeltaPsi2. Le logiciel comprend un environnement opérationnel complètement automatique et des protocoles de communication avancés (RS232, TCP/IP) pour le contrôle robuste de métrologie de film mince. Le logiciel DeltaPsi2 fournit la visualisation normalisée des résultats de mappage fonctionnement sur des Commissions de disque et en verre de semi-conducteur, l'analyse statistique, la manipulation des données avancée, d'importation/exportation module, et capacités de retraitement.

Récent, HORIBA Jobin Yvon a lancé l'EXPERT EN LOGICIEL d'Automobile, un ellipsometer complètement automatique neuf pour le contrôle qualité des films minces. Piloté par le progiciel Mou Automatique neuf compris dans la plate-forme DeltaPsi2, ce logiciel novateur neuf a été conçu pour fournir des fonctionnements faciles d'analyse ellipsométrique sans la compromission sur la qualité des données.

Last Update: 17. January 2012 07:51

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