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Nuovo, Software di Analisi Più Potente per le Pellicole Sottili da HORIBA Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon, il produttore principale dei ellipsometers spettroscopici per la ricerca e l'industria, offre una caratterizzazione avanzata DeltaPsi2 chiamato piattaforma della pellicola sottile. Il software si applica a ellipsometry, polarimetria e reflectometry e comandi tutti gli strumenti della metrologia della pellicola sottile di HORIBA Jobin Yvon.

Il software DeltaPsi2 fornisce le misure avanzate, modellanti e riferenti le capacità per la caratterizzazione accurata e flessibile delle strutture della pellicola sottile.

Le Funzionalità comprendono il calcolo degli spessori, delle costanti ottiche, dei gradienti, dell'anisotropia, della composizione della lega, del calcolo del bandgap, della rugosità di superficie, dell'AME, delle correzioni della parte, di multi misure combinate/di dati dell'analisi e più.

Integra il più grande database dei materiali dei riferimenti e delle relazioni di dispersione richiesti per la caratterizzazione accurata delle costanti ottiche materiali.

I potenziamenti Recenti sono stati messi a fuoco sulle operazioni modellanti automatiche compreso le procedure adatte automatiche e sulla parametrizzazione delle relazioni di dispersione per facilità d'uso e sulla velocità dell'analisi. Egualmente comprende gli ultimi avanzamenti nella caratterizzazione delle strutture periodiche (1D, 2D grate).

I ellipsometers Favolosi quali il UT-300 e il FF-1000 e i ellipsometers in-linea (per esempio rotolo per laminare gli strumenti di video) egualmente sono guidati in piattaforma software DeltaPsi2. Il software comprende una condizioni di funzionamento completamente automatica ed i protocolli di comunicazione avanzati (RS232, TCP/IP) per controllo robusto della metrologia della pellicola sottile. Il software DeltaPsi2 fornisce la visualizzazione standardizzata di mappatura dei risultati sui comitati del wafer e di vetro a semiconduttore, l'analisi statistica, la manipolazione dei dati avanzata, funzione del pacchetto esportazione/dell'inclusione e del ritrattamento delle capacità.

Recentemente, HORIBA Jobin Yvon ha lanciato il nuovo ESPERTO IN INFORMATICA dell'Auto, un ellipsometer completamente automatico per controllo di qualità delle pellicole sottili. Guidato dal nuovo pacchetto di programmi Molle Automatico incluso nella piattaforma DeltaPsi2, questo nuovo software innovatore è stato destinato per fornire le operazioni facili dell'analisi ellissometrica senza il compromesso su qualità di dati.

Last Update: 17. January 2012 07:27

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