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HORIBA Jobin Yvon에서 박막을 위한 새롭고, 더 강력한 분석 소프트웨어

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon, 연구와 기업을 위한 분광 ellipsometers의 주요한 제조자는, 향상된 박막 특성 플래트홈에 의하여 불린 DeltaPsi2를 제안합니다. 소프트웨어는 ellipsometry에, 편광 측정 및 반사율 및 통제 모든 HORIBA Jobin Yvon 박막 도량형학 계기 적용합니다.

DeltaPsi2 소프트웨어는 박막 구조물의 정확하고 유연한 특성을 기능을 만들고 보고하는 향상된 측정을 제공합니다.

특징은 간격, 광학적인 불변의 것, 기온변화도, 이방성, 합금 구성, bandgap 계산, 표면 거칠기, EMA, 후부 개정, 다중 결합한 측정/분석 데이터의 계산을 및 좀더 포함합니다.

그것은 물자 광학적인 불변의 것의 정확한 특성을 위해 요구된 참고와 분산 관계의 가장 큰 물자 데이타베이스를 통합합니다.

최근 증진은 자동적인 적당한 절차를 포함하여 자동적인 만드는 작동 및 사용 용이를 위한 분산 관계의 매개변수화 및 분석의 속도에 집중되었습니다. 그것은 또한 정기적인 구조물 (1D 의 제 2 격자판)의 특성에 있는 최신 어드밴스를 통합합니다.

UT-300 및 FF-1000와 같은 놀라우 ellipsometers 및 인라인 ellipsometers (감시 계기를 구르는 예를 들면 롤)는 또한 DeltaPsi2 소프트웨어 플래트홈에 의해 몹니다. 소프트웨어는 강력한 박막 도량형학 통제를 위한 완전히 자동적인 운영 환경 그리고 향상된 통신 프로토콜 (RS232, TCP/IP)를 포함합니다. DeltaPsi2 소프트웨어는 반도체 웨이퍼와 유리 위원회, 통계 분석, 향상된 자료 조작, 가져오기/수출 포장 기능에 결과를 지도로 나타내고, 기능 재생하기의 표준화한 구상을 제공합니다.

최근에, HORIBA Jobin Yvon는 새로운 자동차 SE 의 박막의 품질 관리를 위한 완전히 자동적인 ellipsometer를 발사했습니다. DeltaPsi2 플래트홈에서 포함된 새로운 자동 연약한 소프트웨어 꾸러미에 의해 몰아, 이 새로운 혁신적인 소프트웨어는 데이터 질에 타협 없이 ellipsometric 분석의 쉬운 작동을 제공하기 위하여 디자인되었습니다.

Last Update: 14. January 2012 20:34

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