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Software de Análise Novo, Mais Poderoso para Filmes Finos de HORIBA Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon, o fabricante principal de ellipsometers espectroscópicas para a pesquisa e a indústria, oferece uma caracterização avançada DeltaPsi2 chamado plataforma do filme fino. O software aplica-se a ellipsometry, polarimetria e reflectometry e controles todos os instrumentos da metrologia do filme fino de HORIBA Jobin Yvon.

O software DeltaPsi2 fornece as medidas avançadas, modelando e relatando capacidades para a caracterização exacta e flexível de estruturas do filme fino.

As Características incluem o cálculo de espessuras, de constantes ópticas, de inclinações, de anisotropia, de composição da liga, de cálculo do bandgap, da aspereza de superfície, do EMA, das correcções da parte traseira, de multi medidas combinadas/dados da análise e mais.

Integra a base de dados a maior dos materiais das referências e das relações de dispersão exigidas para a caracterização exacta de constantes ópticas materiais.

Os realces Recentes foram centrados sobre as operações de modelagem automáticas que incluem procedimentos e a parametrização de relações de dispersão para a acessibilidade e a velocidade apropriados automáticos da análise. Igualmente incorpora os avanços os mais atrasados na caracterização das estruturas periódicas (1D, 2D gratings).

Os ellipsometers Fabulosos tais como o UT-300 e o FF-1000, e a em-linha ellipsometers (por exemplo rolo para rolar instrumentos da monitoração) são conduzidos igualmente pela plataforma de software DeltaPsi2. O software inclui um ambiente operacional totalmente automático e uns protocolos de comunicação avançados (RS232, TCP/IP) para o controle robusto da metrologia do filme fino. O software DeltaPsi2 fornece o visualização estandardizado de traçar resultados nos painéis da bolacha e do vidro de semicondutor, análise estatística, manipulação de dados avançada, função do pacote da importação/exportação, e de reprocessing capacidades.

Recentemente, HORIBA Jobin Yvon lançou o SE novo do Automóvel, um ellipsometer totalmente automático para o controle da qualidade de filmes finos. Conduzido pelo Auto pacote de software Macio novo incluído na plataforma DeltaPsi2, este software inovativo novo foi projectado fornecer operações fáceis da análise elipsométrica sem o acordo na qualidade dos dados.

Last Update: 14. January 2012 15:01

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