Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Bagong, Higit pang Mabisang Pagsusuri Software para sa manipis pelikula mula sa HORIBA Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon , ang nangungunang tagagawa ng mga spectroscopic ellipsometers para sa pananaliksik at industriya, ay nag-aalok ng isang advanced na manipis na film paglalarawan platform na tinatawag na DeltaPsi2. Software nalalapat sa ellipsometry, polarimetry at reflectometry at kontrol ng lahat HORIBA Yvon Jobin manipis na film instrumento metrolohiya.

DeltaPsi2 software ay nagbibigay ng advanced na mga sukat, ang pagmomodelo at pag-uulat ng mga kakayahan para sa tumpak at nababaluktot na paglalarawan ng manipis na mga kaayusan ng film.

Tampok isama ang pagkalkula ng mga thicknesses, optical constants, gradients, anisotropy, ang komposisyon ng haluang metal, bandgap pagkalkula, ibabaw pagkamagaspang, EMA, puwitan pagwawasto, multi pinagsamang sukat / pagtatasa ng data at higit pa.

Ito integrates ang pinakamalaking database ng mga materyales ng mga sanggunian at mga relasyon sa pagpapakalat kinakailangan para sa tumpak na paglalarawan ng mga materyal na optical constants.

Kamakailang mga pagpapahusay ay focussed sa awtomatikong mga operasyon ng modeling na kasama ang mga awtomatikong karapat-dapat na mga pamamaraan at parameterization ng relasyon pagpapakalat para sa kadalian ng paggamit at bilis ng pagtatasa. Ito rin incorporates ang pinakabagong advances sa paglalarawan ng panaka-nakang kaayusan (1D, 2D na mga gratings).

Fab ellipsometers tulad ng sa UT-300 at FF-1000, at mga in-line ellipsometers (para sa halimbawa roll sa roll ang mga instrumento sa pagsubaybay) ay din hinimok ng DeltaPsi2 platform ng software. Ang software ay nagsasama ng isang ganap na awtomatikong operating kapaligiran at mga advanced na mga protocol ng komunikasyon (RS232, TCP / IP) para sa matatag na manipis na film ng control metrolohiya. DeltaPsi2 software ay nagbibigay ng standardized visualization ng mga resulta ng pagmamapa sa semiconductor ostiya at mga panel ng salamin, statistical analysis, ang mga advanced data manipulasyon, import / export package ng function, at mga kakayahan ng reprocessing.

Kamakailan, ang HORIBA Jobin Yvon inilunsad ang bagong Auto TS, isang ganap na awtomatikong ellipsometer para sa kalidad na kontrol ng mga manipis na pelikula. Hinihimok sa pamamagitan ng ang mga bagong Auto Soft software package na kasama sa DeltaPsi2 platform, ang bagong makabagong software na ito ay dinisenyo upang magbigay ng madaling pagpapatakbo ng ellipsometric pagtatasa na walang kompromiso sa kalidad ng data.

Last Update: 5. October 2011 01:00

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit