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新的,更强大的薄膜HORIBA Jobin Yvon公司的分析软件

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

光谱椭偏仪的研究和产业的领先制造商,HORIBA Jobin Yvon公司,提供了一个先进的薄膜特性平台称为DeltaPsi2 。该软件适用于椭偏仪,旋光度和反射和控制所有HORIBA Jobin Yvon的薄膜计量仪器。

DeltaPsi2软件提供了先进的测量,建模和报告的能力,准确和灵活的薄膜结构的表征。

其功能包括计算厚度,光学常数,渐变,各向异性,合金成分,带隙计算,表面粗糙度,均线,背面更正,多结合测量/分析数据,更。

它集成了引用和准确表征材料的光学常数所需的色散关系最大的资料库。

最近的改进主要集中在自动建模操作,包括自动拟合程序和参数化,便于使用和分析速度色散关系。它还集成了周期性结构的表征(一维,二维光栅)的最新进展。

厂如的UT - 300和FF - 1000,和在线椭偏仪(例如滚来滚监测仪器)的椭偏也带动DeltaPsi2软件平台。该软件包括了全自动的操作环境和强大的薄膜计量控制的先进的通讯协议(RS232,TCP / IP协议)。 DeltaPsi2软件提供半导体硅片和玻璃面板,统计分析,先进的数据处理,导入/导出的软件包的功能,和后处理能力的测绘成果的标准化可视化。

近日,HORIBA Jobin Yvon公司推出新的自动SE,为薄膜的质量控制的全自动椭圆偏振光。新软件包括在DeltaPsi2平台上的自动软包的带动下,这个新的创新的软件已经设计提供操作简单的椭偏分析数据质量上没有任何妥协余地。

Last Update: 6. October 2011 01:49

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