薄膜的新,更加強大的分析軟件從 HORIBA Jobin Yvon

Published on October 21, 2008 at 12:58 AM

HORIBA Jobin Yvon,分光鏡 ellipsometers 主導的製造商研究和行業的,提供先進的薄膜描述特性平臺叫的 DeltaPsi2。 這個軟件適用於 ellipsometry,測極化和反射計和控制所有 HORIBA Jobin Yvon 薄膜計量學儀器。

DeltaPsi2 軟件為薄膜結構的準確和靈活的描述特性提供先進的評定,塑造和報告功能。

功能包括厚度、光學常數、梯度、各向異性現象、合金構成、 bandgap 計算、地面粗糙度、 EMA、後側方更正、多聯合的評定/分析數據的計算和更。

它集成對於物質光學常數的準確描述特性和色散關係是必需的最大的材料數據庫參考。

最近改進集中於自動塑造的色散關係的運算包括自動貼合程序和分析的參數化易用的和速度。 它也合併在定期結構 (1D,第 2 濾柵) 的描述特性的最新的預付款。

) DeltaPsi2 軟件平臺也驅動很好的 ellipsometers 例如 UT-300 和 FF-1000 和軸向 ellipsometers (例如滾監控儀器的輥。 這個軟件包括一個全自動機械的運行環境和先進的通信協議 (RS232, TCP/IP) 穩健薄膜計量學控制的。 DeltaPsi2 軟件在半導體片和玻璃面板,統計分析,先進的數據處理,導入/導出程序包功能提供映射結果和重新處理功能的標準化的形象化。

最近, HORIBA Jobin Yvon 生成了新的自動 SE,薄膜質量管理的一全自動機械的 ellipsometer。 驅動由在 DeltaPsi2 平臺包括的新的自動軟的軟件包,此新的創新軟件被設計提供 ellipsometric 分析的容易的運算沒有妥協在數據質量。

Last Update: 24. January 2012 01:12

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