海德堡手段支持坎特伯雷大學納米技術研究

Published on October 23, 2008 at 8:19 PM

海德堡儀器公司宣布出售一個 uPG101表上方無掩模激光圖案系統,新西蘭坎特伯雷大學的詹尼弗研究所。

μPG101是一個非常經濟和易於使用的微碼型發生器直接編寫應用程序,以及低容量掩模製造的。它也是完全合適的,高達 4英寸至4英寸基板上的二維和三維微結構的快速原型,是能夠揭露與 100nm的地址電網高分辨率的特點。

“的μPG101系統安裝在坎特伯雷大學將用於支持的的研究新西蘭的詹尼弗研究所高級材料和納米技術是一個理想的面具,決策和設備的原型工具支持的研究廣泛的範圍內進行從探索新的應用微流體系統,光電子和自旋電子器件的發展從不同的有機和無機材料的範圍,“國教授理查德Blaikie,詹尼弗研究所副所長。

μPG101無掩膜光刻系統提供了一個非常小的足跡60厘米為 60cm。它提出了一個高度靈活的開箱的工具,它能夠的層與層之間通過其集成的攝像系統對準。應用領域包括微機電系統,微機電,集成光學,微流體技術,μTAS,或需要微觀結構的類似地區。

Last Update: 7. October 2011 01:38

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