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Zu Unterstützen Heidelberg-Instrumente Erforscht in BIOMEMS an Chulalongkorn-Universität

Published on October 23, 2008 at 9:09 PM

Heidelberg-Instrumente kündigten den Verkauf einer maskless kopierenden Anlage Lasers der Tischplatte µPG101 zur Abteilung der Industriechemie an der Chulalongkorn-Universität, Thailand an. Dieses Hilfsmittel wird für verschiedenes erforscht im BIOMEMS-Bereich verwendet.

Das µPG101 ist ein extrem wirtschaftliches und bedienungsfreundlicher MikroMuster-Generator für direktes schreiben Anwendungen sowie die Maskenherstellung der geringen Lautstärke. Es ist auch für schnelle Erstausführung von 2D und von Mikrostrukturen 3D auf Substratflächen bis 4 Zoll lang und 4 Zoll breit tadellos geeignet, und ist zum Freilegen von Merkmalen der hohen Auflösung mit einem Adreßgitter von 100nm fähig.

Die maskless Anlage der Lithographie µPG101 bietet einen sehr kleinen Abdruck von 60cm durch 60cm an. Sie stellt ein in hohem Grade flexibles, aus dem Kastenhilfsmittel heraus dar, das zur Schicht auf Schichts-Ausrichtung durch seine integrierte Kameraanlage fähig ist.

Last Update: 14. January 2012 17:39

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