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Instruments de Heidelberg pour soutenir des Recherches en BioMEMS à l'Université Chulalongkorn

Published on October 23, 2008 at 9:09 PM

Heidelberg Instruments a annoncé la vente d'une table système μPG101 supérieure au laser sans masque patterning au Département de génie chimique à l'Université Chulalongkorn, en Thaïlande. Cet outil sera utilisé pour diverses recherches dans le domaine de BioMEMS.

Le μPG101 est un. Très économique et facile à utiliser Pattern Generator Micro pour des applications d'écriture directe ainsi que le masque à faible volume faisant Il est également parfaitement adapté pour le prototypage rapide de microstructures 2D et 3D sur des substrats jusqu'à 4 pouces par 4 pouces, et est capable d'exposer les caractéristiques de haute résolution avec une grille d'adresse de 100nm.

Le système de lithographie sans masque μPG101 offre un très faible encombrement de 60cm par 60cm. Il présente une très flexibles, hors de la boîte à outils qui est capable de couche à couche d'alignement grâce à son système de caméra intégrée.

Last Update: 4. October 2011 08:15

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