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Os Instrumentos de Heidelberg A Apoiar Pesquisam em BIOMEMS na Universidade de Chulalongkorn

Published on October 23, 2008 at 9:09 PM

Os Instrumentos de Heidelberg anunciaram a venda de um sistema de modelação maskless do laser do tampo da mesa µPG101 ao Departamento da Engenharia Química na Universidade de Chulalongkorn, Tailândia. Esta ferramenta será usada para vário pesquisa na área de BIOMEMS.

O µPG101 é um extremamente econômico e o Micro Gerador de Teste Padrão fácil de usar para directo escreve aplicações assim como factura da máscara do baixo volume. É igualmente perfeitamente apropriado para a prototipificação rápida do 2D e das microestrutura 3D em carcaças até 4 polegadas por 4 polegadas, e é capaz de expr características de alta resolução com uma grade do endereço de 100nm.

O sistema maskless da litografia µPG101 oferece uma pegada muito pequena de 60cm por 60cm. Apresenta um altamente flexível, fora da ferramenta da caixa que é capaz da camada mergulhar o alinhamento através de seu sistema integrado da câmera.

Last Update: 14. January 2012 15:01

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