Аппаратуры Гейдельберга объявили сбывание системы лазера таблицы µPG101 верхней maskless делая по образцу к Отделу Химического Машиностроения на Университете Chulalongkorn, Таиланда. Этот инструмент будет использован для различного исследует в зоне BIOMEMS.
ΜPG101 весьма экономичные и легко для использования Микро- Генератора Картины для сразу напишите применения так же, как делать маски малого объема. Также совершенно соответствующе для быстрого прототипирования 2D и микроструктур 3D на субстратах до 4 дюйма 4 дюймами, и способно подвергать действию высокие характеристики разрешения с решеткой адреса 100nm.
Maskless система литографированием µPG101 предлагает очень малый след ноги 60cm 60cm. Она представляет сильно гибкую, из инструмента коробки который способен слоя для того чтобы наслоить выравнивание через свою интегрированную систему камеры.