海德堡手段支持朱拉隆功大學在微機電研究

Published on October 23, 2008 at 9:09 PM

海德堡儀器宣布一個μPG101表上方無掩模激光圖案系統的銷售,泰國朱拉隆功大學化學工程系。此工具將被用於在微機電領域的各種研究。

μPG101是一個非常經濟和易於使用的微碼型發生器直接編寫應用程序,以及低容量掩模製造的。它也是完全合適的,高達 4英寸至4英寸基板上的二維和三維微結構的快速原型,是能夠揭露與 100nm的地址電網高分辨率的特點。

μPG101無掩膜光刻系統提供了一個非常小的足跡60厘米為 60cm。它提出了一個高度靈活的開箱的工具,它能夠的層與層之間通過其集成的攝像系統對準。

Last Update: 4. October 2011 05:31

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