TrueCrystal-Spannungs-Paket FEIS Kombiniert Neues Benutzerfreundlichkeit mit Verringerter Zeit zu den Daten

Published on November 4, 2008 at 9:56 AM

FEI-Firma, ein führender Anbieter von Atom-schuppe Darstellung und Analyseanlagen, gaben heute sein neues TrueCrystal-Spannungs-Analysepaket frei, das auf eine Anlage des Titanen (TM) oder Scannens/Durchstrahlungselektronenmikroskops Tecnai (TM) (S/TEM) eingebaut sein kann. Das neue, automatisierte Spannungsanalysepaket erlaubt Ingenieuren, in hohem Grade genaue Maße in einem Bruch der Zeit der vorhandenen Techniken zu erzielen.

„Silikonspannungstechnik ist eine wichtige Verfahrensinnovation in hoch entwickelter Halbleiterherstellung; sie lässt verbesserte Einheitsleistung und -leistungsfähigkeit an den Knotenpunkten der neuen Technologie zu. Aktuell hat nur TEM fähiges zum Messen dieser verursachten Gitterspannungen an der erforderlichen Ortsauflösung geprüft,“ sagte Joseph-Laufring, Produktvertriebsleiter, Elektronik-Abteilung an FEI. „TrueCrystal-Spannungs-Analyse ist ein komplettes analytisches Paket für die Bestimmung der Spannung nach jedem möglichem Grundsatz in einer kristallenen Probe, auf dem nmniveau.“

Tony Edwards, Vizepräsident und Generaldirektor von der Elektronik-Abteilung FEIS, fügt, „TrueCrystal-Spannungs-Analysepaket FEIS ist ein Beispiel unserer Unternehmensverpflichtung zum Versehen von Abnehmern mit den umfassenden, anwendungsspezifischen Lösungen hinzu, die darauf abzielen, TEM-Produktivität zu maximieren, Datenaufnahmezeit verringern und senken Gesamtkosten Analyse.“

TrueCrystal setzt eine Kombination von Nano-träger Beugung (NBD) im TEM und ein starkes Offline-Datenanalysepaket, zu schnell und erzeugen leicht die hochwertigen Daten wirksam ein, die für hoch entwickelte belastete Silikonverfahrensentwicklung benötigt werden.

Die NBD-Technik ist nicht abhängig von den Beschränkungen, die in den traditionelleren Methoden, wie hochauflösendem TEM (HRTEM) beobachtet werden und konvergenter Trägerelektronenbeugung (CBED). Die Online- Software-Komponente arbeitet innerhalb der MikroskopBenutzerschnittstelle, und der Geradeaus-Zeilescan Arbeitsfluß ist zu jedermann vertraut, das sich chemische Analyse auf einem TEM aufgenommen hat. Die Offline-Software-Komponente lässt Spannungsanalyse jeder einzelnen Beugungsspitze der erworbenen Beugungsmuster zu. Die resultierenden Daten werden dann verwendet, um einen Plan des Spannungsprofils über der erworbenen Zeile Scan automatisch zu erzeugen. Vom Experiment durch abschließende Datenreduktion, zur Darstellung von Ergebnissen, erlauben das TrueCrystal-Spannungs-Analysepaket, das mit einem Titanen kombiniert werden oder Tecnai TEM schnelle, genaue Spannungsprofilbestimmung in einer breiten Musterkollektion.

Last Update: 14. January 2012 17:12

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