El Nuevo Conjunto de la Deformación de TrueCrystal de FEI Combina Facilidad De Empleo con Tiempo Reducido a los Datos

Published on November 4, 2008 at 9:56 AM

La Compañía de FEI, un proveedor de cabeza de la proyección de imagen de la atómico-escala y los sistemas de análisis, release/versión hoy su nuevo conjunto del Análisis de la Deformación de TrueCrystal que se puede instalar en sistema de una exploración del Titán (TM) o de Tecnai (TM)/del microscopio electrónico de la transmisión (S/TEM). El nuevo, automatizado conjunto del análisis de la deformación permite que los representantes técnicos logren mediciones altamente exactas en una parte de la hora de técnicas existentes.

“La ingeniería de la deformación del Silicio es una innovación de proceso importante en la fabricación avanzada del semiconductor; permite funcionamiento y eficiencia mejorados del dispositivo en los nodos de la tecnología avanzada. Actualmente, solamente TEM ha probado capaz de medir estas deformaciones inducidas del cedazo en la resolución espacial requerida,” dijo la Carrera de José, gerente de marketing de producto, División de la Electrónica en FEI. “El Análisis de la Deformación de TrueCrystal es un conjunto analítico completo para la determinación de la deformación a lo largo de cualquier línea en una muestra cristalina, en el nivel del nanómetro.”

Tony Edwards, vicepresidente y director general de la División de la Electrónica de FEI, agrega, “el conjunto del Análisis de la Deformación de TrueCrystal de FEI es un ejemplo de nuestra consolidación de la corporación a proveer de clientes las soluciones completas, específicas a la aplicación que apuntan maximizar productividad de TEM, reducen épocas de adquisición de datos y bajan el costo total de análisis.”

TrueCrystal leverages una combinación de la difracción del nano-haz (NBD) en el TEM, y un conjunto fuera de línea potente del análisis de datos, de manera rápida y fácil para generar los datos de alta calidad requeridos para el revelado de proceso esforzado avanzado del silicio.

La técnica de NBD no está conforme a las limitaciones observadas en métodos más tradicionales, tales como TEM de alta resolución (HRTEM) y difracción de electrón convergente del haz (CBED). El componente del software en línea trabaja dentro de la interfaz de usuario del microscopio, y el flujo de trabajo directo del barrido por líneas será familiar a cualquier persona que ha emprendido análisis químico en un TEM. El componente del software fuera de uso permite análisis de la deformación de cada pico individual de la difracción de los modelos de difracción detectados. Los datos resultantes entonces se utilizan para generar automáticamente un gráfico del perfil de la deformación a través de la línea detectada exploración. Del experimento, con la reducción de datos final, a la presentación de resultados, el conjunto del Análisis de la Deformación de TrueCrystal combinado con un Titán o Tecnai TEM permitirá la determinación rápida, exacta del perfil de la deformación en una amplia gama de muestras.

Last Update: 17. January 2012 06:39

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