Il Nuovo Pacchetto di Sforzo del TrueCrystal di FEI Combina la Facilità D'uso con Tempo Diminuito ai Dati

Published on November 4, 2008 at 9:56 AM

La Società di FEI, un fornitore principale della rappresentazione del atomico-disgaggio ed i sistemi di analisi, oggi hanno rilasciato il suo nuovo pacchetto dell'Analisi di Sforzo di TrueCrystal che può essere installato sistema su uno scansione del Titano (TM) o di Tecnai (TM)/su microscopio elettronico della trasmissione (S/TEM). Il nuovo, pacchetto automatizzato dell'analisi di sforzo permette che gli ingegneri raggiungano le misure altamente accurate in una frazione del periodo delle tecniche attuali.

“L'assistenza tecnica di sforzo del Silicio è un'innovazione trattata importante nella fabbricazione avanzata a semiconduttore; tiene conto la prestazione ed il risparmio di temi migliori dell'unità ai vertici di tecnologia avanzata. Corrente, soltanto TEM ha provato capace di misurazione dei questi sforzi indotti della grata alla risoluzione spaziale richiesta,„ ha detto la Corsa di Joseph, gestore di marketing di prodotto, Divisione di Elettronica a FEI. “L'Analisi di Sforzo di TrueCrystal è un pacchetto analitico completo per la determinazione di sforzo seguendo tutta la riga in un campione cristallino, al livello di nanometro.„

Tony Edwards, vice presidente e direttore generale di Divisione dell'Elettronica di FEI, aggiunge, “pacchetto dell'Analisi di Sforzo del TrueCrystal di FEI è un esempio del nostro impegno corporativo a fornire ai clienti le soluzioni complete e caratteristiche dell'applicazione che mirano a massimizzare la produttività di TEM, diminuiscono i periodi dell'acquisizione dei dati ed abbassano il costo globale dell'analisi.„

TrueCrystal fa leva una combinazione di diffrazione del nano-raggio (NBD) nel TEM e un pacchetto offline potente dell'analisi di dati, a rapidamente e facilmente genera i dati di alta qualità richiesti per lo sviluppo trattato sforzato avanzato del silicio.

La tecnica di NBD non è conforme alle limitazioni osservate nei metodi più tradizionali, quali TEM (HRTEM) ad alta definizione e la diffrazione di elettrone convergente del raggio (CBED). La componente del software online funziona all'interno dell'interfaccia utente del microscopio ed il flusso di lavoro diretto di riga-scansione sarà abituato a chiunque che abbia intrapreso l'analisi chimica su un TEM. La componente del software offline tiene conto l'analisi di sforzo di ogni picco determinato della diffrazione dei reticoli di diffrazione acquistati. I dati risultanti poi sono usati per generare automaticamente un tracciato del profilo di sforzo attraverso la riga acquistata scansione. Dall'esperimento, con riduzione di dati definitiva, alla presentazione dei risultati, il pacchetto dell'Analisi di Sforzo di TrueCrystal combinato con un Titano o Tecnai TEM permetterà la rapida, la determinazione accurata di profilo di sforzo in una vasta gamma di campioni.

Last Update: 17. January 2012 07:11

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