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FEI の新しい TrueCrystal の緊張のパッケージはデータに減らされた時間と使い易さを結合します

Published on November 4, 2008 at 9:56 AM

原子スケールイメージ投射の FEI の会社、一流の提供者および解析システムは、今日タイタン (TM) または Tecnai (TM) のスキャン/伝達電子顕微鏡 (S/TEM) でシステムインストールすることができる新しい TrueCrystal の緊張の分析のパッケージを解放しました。 新しい、自動化された緊張の分析のパッケージはエンジニアが既存の技術のわずか時間の極めて正確な測定を達成することを可能にします。

「ケイ素の緊張工学は高度の半導体の製造業の重要なプロセス革新です; それは先行技術ノードで改善された装置パフォーマンスおよび効率を可能にします。 現在、 TEM だけ必須の空間分解能でこれらの誘導された格子緊張を測定することができる証明しました」、ヨセフの競争言いました、製品マーケティングマネージャ、 FEI の電子工学部を。 「TrueCrystal 緊張分析ナノメーターのレベルにです結晶のサンプルのあらゆるラインに沿う緊張の決定のための完全で分析的なパッケージ」。は

トニー Edwards、副大統領および FEI の電子工学部の総務部長は TEM の生産性を最大化することを向け、データ収集時を減らし、そして分析の総費用を」。の下げる広範囲の、アプリケーション特有の解決を顧客に与えることへ、 「FEI TrueCrystal 緊張分析パッケージです私達の団体の責任の例付け加えます

TrueCrystal は TEM の nano ビーム回折の (NBD)組合せ、および高度の緊張したケイ素プロセス開発に必要な良質データを生成するために強力なオフ・ラインのデータ解析のパッケージに、迅速かつ簡単にてこ入れします。

NBD の技術は高解像 TEM (HRTEM) および収束のビーム電子回折のような従来の方法で、観察される限定に応じてありません (CBED)。 オンラインソフトウェアのコンポーネントは顕微鏡のユーザー・インターフェースの内で働き、簡単なラインスキャン作業の流れは TEM の化学分析を引き受けただれでもによく知られています。 オフ・ラインソフトウェアコンポーネントは得られた回折パターンの各々の個々の回折のピークの緊張の分析を可能にします。 生じるデータがそれから自動的に得られたラインスキャンを渡る緊張のプロフィールのプロットを生成するのに使用されています。 実験から、結果の提示への最終的なデータ整理によって、タイタンと結合された TrueCrystal の緊張の分析のパッケージか Tecnai TEM はサンプルの広い範囲の急速で、正確な緊張のプロフィールの決定を可能にします。

Last Update: 14. January 2012 13:01

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