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O Pacote Novo da Tensão do TrueCrystal de FEI Combina a Acessibilidade com o Tempo Reduzido aos Dados

Published on November 4, 2008 at 9:56 AM

A Empresa de FEI, um fornecedor principal da imagem lactente da atômico-escala e os sistemas de análise, liberaram hoje seu pacote novo da Análise da Tensão de TrueCrystal que pode ser instalado sistema em uma exploração do Titã (TM) ou do Tecnai (TM)/no microscópio elétron da transmissão (S/TEM). O pacote novo, automatizado da análise da tensão permite que os coordenadores consigam medidas altamente exactas em uma fracção da época de técnicas existentes.

Do “a engenharia da tensão Silicone é uma inovação de processo importante em fabricação avançada do semicondutor; permite o desempenho e a eficiência melhorados do dispositivo em nós da tecnologia avançada. Actualmente, somente TEM provou capaz de medir estas tensões induzidas da estrutura na definição espacial exigida,” disse a Raça de Joseph, gerente de marketing de produto, Divisão da Eletrônica em FEI. De “a Análise da Tensão TrueCrystal é um pacote analítico completo para a determinação da tensão ao longo de toda a linha em uma amostra cristalina, a nível do nanômetro.”

Tony Edwards, vice-presidente e director geral da Divisão da Eletrônica de FEI, adiciona, de “pacote da Análise da Tensão do TrueCrystal FEI é um exemplo de nosso comprometimento corporativo a fornecer clientes as soluções detalhadas, características da aplicação que apontam maximizar a produtividade de TEM, reduzem épocas por aquisição de dados e abaixam o custo total da análise.”

TrueCrystal leverages uma combinação de difracção do nano-feixe (NBD) no TEM, e um pacote autónomo poderoso da análise de dados, gera a rapidamente e facilmente os dados de alta qualidade exigidos para revelação de processo esticada avançada do silicone.

A técnica de NBD não é sujeita às limitações observadas em uns métodos mais tradicionais, tais como TEM de alta resolução (HRTEM) e a difracção de elétron convergente do feixe (CBED). O componente de software em linha trabalha dentro da interface de utilizador do microscópio, e os trabalhos directos da linha-varredura serão familiares a qualquer um que empreendeu a análise química em um TEM. O componente de software autónomo permite a análise da tensão de cada pico individual da difracção dos testes padrões de difracção adquiridos. Os dados resultantes são usados então para gerar automaticamente um lote do perfil da tensão através da linha adquirida varredura. Da experiência, com a redução de dados final, à apresentação dos resultados, o pacote da Análise da Tensão de TrueCrystal combinado com um Titã ou Tecnai TEM permitirão a determinação rápida, exacta do perfil da tensão em uma escala larga das amostras.

Last Update: 14. January 2012 14:34

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