FEI 的新的 TrueCrystal 张力程序包与减少的时间结合易用对数据

Published on November 4, 2008 at 9:56 AM

FEI 公司、基本缩放比例想象主导的提供者和分析系统,今天发行了在巨人的其新的 TrueCrystal 张力分析程序包 (TM) 或 Tecnai (TM) 扫描/传输电子显微镜 (S/TEM) 可以被安装系统。 新,自动化的张力分析程序包允许工程师达到在现有的技术的一小部分时刻的极为准确的评定。

“硅张力工程是重要工艺创新在先进的半导体制造中; 它允许被改进的设备性能和效率在先进技术节点。 目前,仅 TEM 证明能够评定这些导致的格子张力在这个必需的空间分辨率”,电子分部说约瑟夫种族,产品营销经理,在 FEI 的。 “TrueCrystal 张力分析是张力的确定的一个完全分析程序包沿着在一个水晶范例的所有线路,在毫微米级别”。

托尼爱德华兹,副总统和总经理 FEI 的电子分部,补充说, “FEI 的 TrueCrystal 张力分析程序包是我们的总公司承诺的示例对提供客户以打算最大化 TEM 生产率,减少数据收集时期并且降低分析的总成本的全面,有特殊用途的解决方法”。

TrueCrystal 利用纳诺射线衍射的组合 (NBD)在 TEM 的和一个强大的脱机数据分析程序包,迅速和容易地生成对于先进的紧张的硅工艺过程开发是必需的优质数据。

NBD 技术不是受在更加传统的方法观察的限制支配,例如高分辨率 TEM (HRTEM) 和会聚射线电子衍射 (CBED)。 联机软件要素在显微镜用户接口内运作,并且直接的线路扫描工作流跟熟悉执行在 TEM 的化学分析的人。 脱机软件要素允许对获取的绕射图的每个单个衍射峰顶的张力分析。 这个发生的数据然后用于自动地生成张力配置文件的剧情在这条获取的线路扫描间的。 从实验,通过最终数据简化,对结果的介绍,与巨人结合的 TrueCrystal 张力分析程序包或 Tecnai TEM 将允许在各种各样的范例的迅速,准确张力配置文件确定。

Last Update: 14. January 2012 10:57

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