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FEI的新TrueCrystal應變包結合易於使用的時間縮短到數據

Published on November 4, 2008 at 9:56 AM

FEI公司 ,原子尺度的成像和分析系統的領先供應商,今天發布了其新的TrueCrystal泰坦(TM)或Tecnai(TM)掃描/透射電子顯微鏡(S /透射電子顯微鏡)系統,可安裝的應變分析軟件包。新的,自動化的應變分析軟件包使工程師能夠實​​現高度精確的測量,在現有技術的一小部分時間。

賽后,“約瑟夫說”矽應變工程是一個先進的半導體製造中的重要的工藝創新;它可以提高設備的性能和先進的技術節點的效率,目前,只有透射電子顯微鏡能夠證明這些誘導晶格應變測量所需的空間分辨率在翡翠,電子部產品營銷經理。 “TrueCrystal應變分析在晶體樣品測定應變沿任何線,在納米級,是一個完整的的分析軟件包。”

托尼愛德華茲,副總裁兼總經理 FEI公司電子部,增加了,“我們公司承諾為客戶提供綜合性,應用程序特定的解決方案,目的透射電鏡生產率最大化的一個例子FEI的TrueCrystal應變分析軟件包,減少數據採集的時間和降低整體成本的分析。“

TrueCrystal利用納米束衍射(NBD)的組合,在TEM和一個功能強大的離線數據分析軟件包,快速地產生高品質的先進的應變矽工藝開發所需的數據。

NBD技術較傳統的方法觀察到的局限性,如高高分辨率透射電子顯微鏡(HRTEM)和會聚束電子衍射(CBED),不受。上線的軟件組件顯微鏡內的用戶界面,和簡單的行掃描的工作流程,將熟悉的任何人進行化學分析的TEM。脫線的軟件組件,允許每個個人的衍射峰,所收購的衍射圖案應變分析。由此產生的數據,然後使用自動生成的應變整個收購線掃描輪廓曲線。從實驗中,通過減少最終的數據,結果的表述,結合泰坦或Tecnai透射電子顯微鏡 TrueCrystal應變分析軟件包將允許快速,準確的樣品廣泛應變個人資料的決心。

Last Update: 3. October 2011 03:22

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