Tegal-Lieferungs-Tiefe Reagierende IonenÄtzungs-Anlage Nach Datenerfassung von AMMS-Produktlinien

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Corporation (NASDAQ: TGAL), ein führender Designer und ein Hersteller der Plasmaätzung und der Absetzungsanlagen, heute angekündigt, dass die Firma eine Ionenätzungsanlage Tegal 200SE ICP tiefe reagierende zu (DRIE) einem führenden Lieferanten von Substratflächen und von Services in den Märkten der integrierten Schaltung und MEMS-Fühlers versendet hatte. Die neue Anlage Tegal DRIE wird aktuell an der Produktionsgießerei das 150mm des Abnehmers eingebaut.

„Tegal ist sehr erfreut, unsere erste Silikon-Ätzungs-Anlage Tegal 200SE ICP versendet zu haben, die unserer Datenerfassung der anlagen-Produktlinien Alcatel Mikro (AMMS)Bearbeitungsim September folgt,“ sagte Thomas Mika, Präsident und Vorstandsvorsitzende von Tegal Corporation. „Wir arbeiteten sehr schwer, um die Verkäufe und den Qualifizierungsprozess für unseren Abnehmer nahtlos zu machen, der Tegals DRIE-Anlage seinem vorhandenen Hilfsmittelset hinzugefügt hat. Die Tatsache, dass dieser Abnehmer die Wahl für Tegal getroffen hat, nachdem er jahrelang in MEMS-Produktion gearbeitet hatte, ist ein starkes Indossament der Erfolgsbilanz Tegal/AMMS 200SE für Produktion-erwiesene Leistung.“

Die Anlage Tegal 200SE ist ein Plasmaätzungshilfsmittel mit hoher Schreibdichte, das einen induktiv verbundenen Plasmaätzungsreaktor und magnetische eine Plasmabeschränkung kennzeichnet. Das Hilfsmittel kann Prozess Ausführen Tegals den patentierten SCHARFES &ndash Super Hohen Längenverhältnis-und geätzte MerkmalsLängenverhältnisse von erzielen > 100:1 in den Produktionsumgebungen. Zusammen mit seiner hohen Zuverlässigkeit breites Prozessfenster, und hohe Ätzung bewertet, die Anlage Tegal 200SE ist ein kritischer Enabler für die Ätzung des Silikons und SOI-Substratflächen fanden im MEMS/MOEMS, foto-voltaisch, in Biotech und in der Hallospannung, Märkte.

Last Update: 14. January 2012 17:12

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit