Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Tegal Πλοία βαθιά αντιδραστικό Ίων Etch σύστημα μετά την εξαγορά της AMMS Γραμμές Προϊόντος

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Corporation (NASDAQ: TGAL) , ένας κορυφαίος σχεδιαστής και κατασκευαστής των συστημάτων πλάσμα χαράζει και την εναπόθεση, ανακοίνωσε σήμερα ότι η Εταιρεία είχε αποστείλατε Tegal 200SE ICP βαθιά αντιδραστική ιόντων etch (DRIE) σύστημα σε μια ηγετική θέση στην αγορά των υποστρωμάτων και των υπηρεσιών στο πλαίσιο του ολοκληρωμένου κύκλωμα και MEMS αγορές αισθητήρα. Το νέο σύστημα Tegal DRIE εγκαθίσταται ήδη στα 150 χιλιοστά παραγωγής του πελάτη χυτήριο.

"Tegal είναι πολύ ευχάριστη θέση να έχει αποσταλεί πρώτη Tegal μας 200SE ICP Silicon Etch σύστημα μας μετά την απόκτηση της Alcatel Micro Συστήματα Κατεργασίας (AMMS) σειρές προϊόντων, τον Σεπτέμβριο", δήλωσε ο Thomas Μίκα, Πρόεδρος και Διευθύνων Σύμβουλος της Tegal Corporation. «Δουλέψαμε πολύ σκληρά για να κάνουν τις πωλήσεις και τη διαδικασία προεπιλογής απρόσκοπτη για τον πελάτη μας, ο οποίος έχει προσθέσει DRIE Tegal συστήματος σε υπάρχουσες σύνολο εργαλείων της. Το γεγονός ότι ο πελάτης έχει κάνει την επιλογή για Tegal, μετά από την εργασία στην παραγωγή MEMS για πολλά χρόνια, είναι μια ισχυρή ένδειξη της Tegal / AMMS 200SE ιστορικό για την παραγωγή-αποδεδειγμένη απόδοση. "

Η Tegal 200SE σύστημα είναι ένα υψηλής πυκνότητας πλάσματος εργαλείο etch που χαρακτηρίζει συζευγμένο επαγωγικά πλάσμα χαράζει αντιδραστήρα και μαγνητικής συγκράτησης πλάσματος. Το εργαλείο μπορεί να τρέξει πατενταρισμένο SHARP & ndash της Super Tegal High Λόγος της διαδικασίας, η επίτευξη χαραγμένο αναλογίες χαρακτηριστικό στοιχείο της> 100:1 σε περιβάλλοντα παραγωγής. Μαζί με την υψηλή αξιοπιστία της, ευρεία παράθυρο διαδικασίες, καθώς και υψηλά ποσοστά etch, το Tegal 200SE σύστημα είναι ένα κρίσιμο παράγοντα για τη χάραξη της Silicon και SOI υποστρώματα που βρέθηκαν στο MEMS / MOEMS, φωτοβολταϊκά, βιο-τεχνολογίας και υψηλής τάσης των αγορών.

Last Update: 4. October 2011 08:30

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit