Tegal の船 AMMS の製品種目の獲得の後の深い反応イオン腐食システム

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Corporation (NASDAQ: TGAL)、会社が集積回路および MEMS センサーの市場の基板そしてサービスの一流の製造者に Tegal 200SE ICP 深い反応イオン腐食システムを (DRIE)出荷したことを今日発表される血しょう腐食および沈殿システムの主導的なデザイナーおよび製造業者。 Tegal 新しい DRIE システムは顧客の 150mm の生産の鋳物場で現在インストールされています。

「Tegal 9 月の Alcatel のマイクロ機械化のシステム製品ラインの私達の獲得に続く私達の最初 Tegal 200SE ICP のケイ素の腐食システムを出荷して非常に (AMMS)嬉しいです」はトマス美香、 Tegal Corporation の社長兼最高経営責任者を言いました。 販売および修飾をするために 「私達は既存の工具セットに Tegal の DRIE システムを追加した私達の顧客のためのプロセス継ぎ目が無い非常に懸命に働きました。 この顧客が何年もことをの間 MEMS の生産で働くことの後で Tegal のための選択を、したという事実は、です生産証明されたパフォーマンスのための Tegal/AMMS 200SE の実績の強い裏書」。

Tegal 200SE システムは帰納的につながれた血しょう腐食リアクターおよび磁気血しょう拘束を特色にする高密度血しょう腐食のツールです。 ツールは > 生産環境の 100:1 Tegal のエッチングされた機能アスペクトレシオをの達成する特許を取られた鋭い &ndash の極度の高いアスペクトレシオプロセスを実行できます。 高い信頼性とともに、広いプロセス Windows、高い腐食は、 Tegal 200SE システムですケイ素をエッチングするための重大な enabler 評価し、 SOI の基板は MEMS/MOEMS、光起電、バイオテクノロジーおよびこんにちは電圧で見つけました市場。

Last Update: 4. June 2015 06:04

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