Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Tegal Schepen Deep Reactive Ion Etch systeem na de overname van AMMS Product Lines

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Corporation (NASDAQ: TGAL) , een toonaangevende ontwerper en fabrikant van plasma-etsen en depositie systemen, heeft vandaag aangekondigd dat het bedrijf had een Tegal 200SE ICP diepe reactief ion etsen (DRIE) systeem verzonden naar een toonaangevende leverancier van substraten en diensten in de geïntegreerde circuit en MEMS-sensor markten. De nieuwe Tegal DRIE-systeem wordt op dit moment geïnstalleerd bij 150mm van de klant productie van gieterij.

"Tegal is zeer verheugd te hebben verscheept onze eerste Tegal 200SE ICP Silicon Etch systeem na de overname van het Alcatel Micro Machining Systems (AMMS) productlijnen in september", zegt Thomas Mika, President en CEO van Tegal Corporation. "We hebben heel hard gewerkt om de verkoop-en kwalificatieproces naadloos voor onze klant, die heeft DRIE systeem Tegal's toegevoegd aan haar bestaande tool set. Het feit dat deze klant heeft de keuze voor Tegal gemaakt, na het werken in MEMS productie voor vele jaren, is een sterke bevestiging van de Tegal / AMMS 200SE track record voor productie-bewezen prestaties. "

Het Tegal 200SE-systeem is een high-density plasma-etsen gereedschap met een inductief gekoppelde plasma-etsen reactor en magnetische plasma-opsluiting. De tool kan draaien gepatenteerde SHARP & ndash Tegal's Super High Aspect Ratio proces, het bereiken van geëtst functie beeldverhoudingen van> 100:1 in productie-omgevingen. Samen met de hoge betrouwbaarheid, breed proces-venster en een hoge etsen tarieven, het Tegal 200SE-systeem is een kritische factor voor het etsen van de silicium en SOI substraten gevonden in de MEMS / MOEMS, fotovoltaïsche energie, bio-tech en hi-voltage markten.

Last Update: 4. October 2011 08:30

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit