Tegal 船深刻的易反应的离子铭刻系统在 AMMS 产品线的购买之后

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Corporation (那斯达克:TGAL),等离子铭刻和证言系统一个主设计师和制造商,今天宣布公司发运了 Tegal 200SE ICP 深刻的易反应的离子铭刻 (DRIE)系统给基体和服务的一个主导的供应商在集成电路和 MEMS 传感器市场上。 新的 Tegal DRIE 系统在客户的 150mm 生产铸造厂当前被安装。

“Tegal 是非常喜悦发运了我们的按照我们的阿尔卡特微用机器制造的系统产品线路的购买的第一个 Tegal 200SE ICP 硅 (AMMS)铭刻系统在 9月”,托马斯米卡, Tegal Corporation 的总裁兼 CEO 说。 “我们非常努力工作做这个销售额和鉴定处理无缝我们的客户的,添加了 Tegal 的 DRIE 系统到其现有的工具箱。 这个情况此客户在从事做出了 Tegal 的选择,在 MEMS 生产以后许多年,是 Tegal/AMMS 200SE 记录的一本严格的背书生产证明的性能的”。

Tegal 200SE 系统是以引人地耦合的等离子铭刻反应器和磁性等离子分娩为特色的一个高密度等离子铭刻工具。 工具在生产环境里可能运行 Tegal 的给予专利的锋利的 &ndash 超级高长宽比进程,达到被铭刻的功能长宽比 > 100:1。 与其高信度一起,清楚的处理视窗,并且高铭刻对估计, Tegal 200SE 系统是铭刻的硅一个重要支持因素,并且 SOI 基体在 MEMS/MOEMS,光致电压,生物科技和喂电压查找了市场。

Last Update: 4. June 2015 05:53

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