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Tegal船舶深反應離子蝕刻系統,軍事醫學科學院產品線的收購

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal公司(納斯達克股票代碼: TGAL),等離子蝕刻和沉積系統的領先設計者和製造商,今天宣布,該公司已發運在一個Tegal 200SE ICP深反應離子蝕刻(DRIE)系統集成到基板和服務的領先供應商電路和MEMS傳感器市場。新Tegal的DRIE系統目前正在安裝在客戶的150毫米生產代工。

“Tegal是非常高興能有我們的第一個 Tegal 200SE ICP備矽蝕刻系統發貨,我們收購阿爾卡特微加工系統(AMMS)的產品線在九月後,米卡,Tegal公司總裁兼首席執行官托馬斯說。” “我們一直非常努力,以使銷售和資格審查流程,為我們的客戶無縫,Tegal的DRIE系統增加了其現有的工具集。事實上,這個客戶選擇為 Tegal,MEMS生產工作多年後,是一個 Tegal /軍事醫學科學院 200SE的跟踪記錄,證明生產性能的強烈支持。“

Tegal 200SE系統是一個高密度等離子體刻蝕工具,採用電感耦合等離子蝕刻反應器和磁等離子體約束。該工具可以運行 Tegal的專利夏普&ndash超高長寬比工藝,在生產環境中實現的功能蝕刻縱橫比> 100:1。加上其高可靠性,廣泛的工藝窗口,和高蝕刻率,Tegal 200SE系統是蝕刻在微機電系統 /微光機電系統,光電,生物技術和高電壓市場發現矽和SOI襯底的關鍵推動者。

Last Update: 4. October 2011 08:30

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