Tegal 船深刻的易反應的離子銘刻系統在 AMMS 產品線的購買之後

Published on November 12, 2008 at 10:20 AM

Tegal Corporation (那斯達克:TGAL),等離子銘刻和證言系統一個主設計師和製造商,今天宣佈公司發運了 Tegal 200SE ICP 深刻的易反應的離子銘刻 (DRIE)系統给基體和服務的一個主導的供應商在集成電路和 MEMS 傳感器市場上。 新的 Tegal DRIE 系統在客戶的 150mm 生產鑄造廠當前被安裝。

「Tegal 是非常喜悅發運了我們的按照我們的阿爾卡特微用機器製造的系統產品線路的購買的第一個 Tegal 200SE ICP 硅 (AMMS)銘刻系統在 9月」,托馬斯米卡, Tegal Corporation 的總裁兼 CEO 說。 「我們非常努力工作做這個銷售額和鑒定處理無縫我們的客戶的,添加了 Tegal 的 DRIE 系統到其現有的工具箱。 這個情況此客戶在從事做出了 Tegal 的選擇,在 MEMS 生產以後許多年,是 Tegal/AMMS 200SE 記錄的一本嚴格的背書生產證明的性能的」。

Tegal 200SE 系統是以引人地耦合的等離子銘刻反應器和磁性等離子分娩為特色的一個高密度等離子銘刻工具。 工具在生產環境裡可能運行 Tegal 的給予專利的鋒利的 &ndash 超級高長寬比進程,達到被銘刻的功能長寬比 > 100:1。 與其高信度一起,清楚的處理視窗,并且高銘刻對估計, Tegal 200SE 系統是銘刻的硅一個重要支持因素,并且 SOI 基體在 MEMS/MOEMS,光致電壓,生物科技和餵電壓查找了市場。

Last Update: 4. June 2015 05:55

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