Tegal 从导致 LED 制造商收到 901ACS 等离子铭刻系统的后续订单

Published on November 13, 2008 at 10:27 AM

Tegal Corporation (那斯达克:TGAL),用于 LEDs, MEMS、集成电路和纳米技术设备的生产的等离子铭刻一个主设计师和制造商和证言系统,今天宣布它从一个主导的 opto 半导体/LED 制造商收到了一个另外的 Tegal 901ACS 部件的另一份后续订单。 新的 901ACS 系统将支持点燃和光学传感器设备生产的客户的能力扩展,并且添加到 Tegal 900ACS 串联等离子为这些应用现在使用的铭刻系统客户的现有的产品安装信息库。

“我们的客户了解 Tegal 900ACS 工具,与其单一薄酥饼铭刻配置,给制造 LEDs 任务带来被改进的制造的精确度”,完全地说 John Almerico, Marketing Director, Etch Products, Tegal Corporation。 “被改进的制造的精确度转换,当更好的处理增殖率,更好的制造增殖率,更高的设备产生,并且降低等离子铭刻应用的运作成本在我们的客户的 fabs。 那是一个打不垮的值提议,我们的客户容易地有,和重复,采购”。

Tegal 901ACS 是最晚在 Tegal 导致的一系列的 capacitively 耦合的二极管等离子铭刻系统,在商业单一薄酥饼等离子蚀刻的行业先驱。 1,500 个系统在 900 系列中迄今被发运了,提供可靠和有效技术支持为各种各样的等离子铭刻进程。 Tegal 900ACS 串联被优选为填充、零的层、无选择性的氮化物、后侧方和 planarization 蚀刻,以及为光致抗蚀剂 descum、氧化物,氮化物,多和对 HB-LED,光电子, TFH 和 MEMS 设备制造的复合材料申请。 在他们的其他功能, Tegal 900ACS 和 980ACS 串联平台中请合并可能结实地适应在 opto 找到的 75 mm 到 200 mm 圆,方或者长方形基体的一个生产证明的运输系统, TFH 和 MEMS 市场。

根据无限 LED 市场研究公司的方法,乙肝 LEDs 在这样高公开性应用越来越部署象移动工具和笔记本计算机的显示后照光,信号、指示符和外部和内部照明的在这个汽车市场上和在照明设备符号和显示的。 当 LEDs 变得越来越普遍存在行业和消费者照明应用, LED 照明设备市场由无限的方法设想通过增长以从今天的两位数费率及早在下十年。

Last Update: 14. January 2012 10:27

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