Tegal 從導致 LED 製造商收到 901ACS 等離子銘刻系統的後續訂單

Published on November 13, 2008 at 10:27 AM

Tegal Corporation (那斯達克:TGAL),用於 LEDs, MEMS、集成電路和納米技術設備的生產的等離子銘刻一個主設計師和製造商和證言系統,今天宣佈它從一個主導的 opto 半導體/LED 製造商收到了一個另外的 Tegal 901ACS 部件的另一份後續訂單。 新的 901ACS 系統將支持點燃和光學傳感器設備生產的客戶的能力擴展,并且添加到 Tegal 900ACS 串聯等離子為這些應用現在使用的銘刻系統客戶的現有的產品安裝信息庫。

「我們的客戶瞭解 Tegal 900ACS 工具,與其單一薄酥餅銘刻配置,給製造 LEDs 任務帶來被改進的製造的精確度」,完全地說 John Almerico, Marketing Director, Etch Products, Tegal Corporation。 「被改進的製造的精確度轉換,當更好的處理增殖率,更好的製造增殖率,更高的設備產生,并且降低等離子銘刻應用的運作成本在我們的客戶的 fabs。 那是一個打不垮的值提議,我們的客戶容易地有,和重複,採購」。

Tegal 901ACS 是最晚在 Tegal 導致的一系列的 capacitively 耦合的二極管等離子銘刻系統,在商業單一薄酥餅等離子蝕刻的行業先驅。 1,500 個系統在 900 系列中迄今被發運了,提供可靠和有效技術支持為各種各樣的等離子銘刻進程。 Tegal 900ACS 串聯被優選為填充、零的層、無選擇性的氮化物、後側方和 planarization 蝕刻,以及為光致抗蝕劑 descum、氧化物,氮化物,多和對 HB-LED,光電子, TFH 和 MEMS 設備製造的複合材料申請。 在他們的其他功能, Tegal 900ACS 和 980ACS 串聯平臺中请合併可能結實地適應在 opto 找到的 75 mm 到 200 mm 圓,方或者長方形基體的一個生產證明的運輸系統, TFH 和 MEMS 市場。

根據無限 LED 市場研究公司的方法,乙肝 LEDs 在這樣高公開性應用越來越部署像移動工具和筆記本計算機的顯示後照光,信號、指示符和外部和內部照明的在這個汽車市場上和在照明設備符號和顯示的。 當 LEDs 變得越來越普遍存在行業和消費者照明應用, LED 照明設備市場由無限的方法設想通過增長以從今天的兩位數費率及早在下十年。

Last Update: 4. June 2015 05:55

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