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LBNLでエクセレンスのナノサイエンスセンターに6システムを供給するオックスフォードインスツルメンツ

Published on November 15, 2008 at 12:10 AM

オックスフォードインスツルメンツは、ちょうどローレンスバークレー国立研究所(バークレー研究所)、米国カリフォルニア州、ナノサイエンスのためのDOEのユーザー施設における分子ファウンドリーと科学研究のセンターオブエクセレンスを装備する6システムの注文を獲得しています。 3 ICPプラズマエッチング装置、2 Plasmalab ® 80PLUSツール、およびFlexAL ®原子層蒸着ツール - オックスフォードインスツルメンツのシステムは、6のツールを構成命じた。システムは、分子ファウンドリーのユーザがナノサイエンスの先駆的な研究を追求するためにプラズマベースのエッチングやデポジションを利用できるようになります。 ICPのシステムとFlexALは、バークレー研究所の特定研究の要件に合わせて新しい機能を持つことになります。

シリコンワイヤーは、オックスフォードICP 380は10nm、20:1のアスペクト比を用いてエッチング。

分子ファウンドリーは、世界中の学術、政府や企業の研究所でナノサイエンスの研究者へのサポートを提供することで起訴米国エネルギー省(DOE)の国家ユーザー施設です。また、ナノスケール材料の合成、特性評価および理論の勉学を向上させる楽器、テクニック、協力者をユーザに提供しています。

ハイテクツールやシステムのリーディングプロバイダーとして、オックスフォードインスツルメンツプラズマテクノロジー(OIPT)は名門LBNLの研究機関との長期的なコラボレーションに関与している。コラボレーションは、バークレー研究所の分子ファウンドリーのポストドクトラルフェローのOIPTの資金調達、nanoetchingための高度なプロセス制御を特に見て、そして科学研究のOIPTの継続的関与を示すが含まれています。

オックスフォードのシステムは非常にスムーズな側壁、サブ20nmの機能とそれ以降のパターン転写、ナノインプリントリソグラフィのテンプレートと印刷用のプラズマエッチングでマイクロおよびナノスケールのシリコン機能をエッチングなどの分野で分子ファウンドリーを有効にし、サブになりますコンフォーマルな成膜のナノメートル制御。

マークVosloo、オックスフォードインスツルメンツプラズマ技術のコメントのセールスディレクター、"我々は、我々は市場をリードするプロセス技術を提供することに置く重要性を強調しているような権威ある確立された顧客からこの順序を受け取るために喜んでいる。"

Last Update: 26. October 2011 18:19

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