Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

牛津仪器在劳伦斯伯克利国家实验室的电源,6个系统的卓越纳米科学中心

Published on November 15, 2008 at 12:10 AM

牛津仪器公司刚刚获得6系统装备在劳伦斯伯克利国家实验室(伯克利实验室),加利福尼亚州,美国,美国能源部为纳米科学用户设施和卓越的科研中心分子铸造秩序。牛津仪器系统有序包括6工具 - 3 ICP等离子体刻蚀系统,2 Plasmalab ® 80PLUS工具,和一个FlexAL ®原子层沉积工具。该系统将使用户在分子铸造利用等离子体刻蚀和沉积追求开创性的研究,在纳米科学。 ICP备系统和FlexAL将根据伯克利实验室的具体研究要求新功能。

硅线蚀刻使用牛津ICP 380 10纳米,20时01分宽高比。

分子铸造是一个美国能源部(DOE)的国家用户设施负责纳米研究人员在世界各地的学术界,政府和工业实验室提供支持。它还提供了用户与仪器,技术和合作者,以提高他们的研究纳米材料的合成,表征及理论。

作为一个高科技的工具和系统的领先供应商,牛津仪器等离子技术(OIPT)参与在长期与著名的劳伦斯伯克利国家实验室研究所的长期合作。合作包括OIPT的伯克利实验室分子铸造的博士后研究员的资金,特别是在先进的过程控制nanoetching,展示OIPT的持续参与科研。

牛津系统将使领域,如微型和纳米级硅的特点,具有超光滑的侧壁,分20纳米的特点和超越模式转移,等离子蚀刻纳米压印光刻模板和印刷,和子蚀​​刻分子铸造形薄膜沉积的纳米控制。

马克Vosloo,销售总监牛津仪器等离子技术的意见,“我们很高兴地接受这种秩序,建立这样一个著名的客户,它强调的重要性,我们提供市场领先的工艺技术。”

Last Update: 7. October 2011 00:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit