Группа EV Вводит Новую Сюиту Aligners и Систем Измерения для MEMS, Нанотехнологии и Рынков Полупроводника

Published on December 1, 2008 at 6:33 PM

Группа EV (EVG), ведущий поставщик оборудования выпуска облигаций и литографирования вафли для MEMS, нанотехнологии и рынков полупроводника, сегодня ввели серию NT -- новая, но уже пол-доказанная сюита aligners маски, aligners скрепления вафл-к-вафли (W2W) и систем измерения -- адресовать увеличенное требование для точности юстировки более высокой точности. Перенос к более малой геометрии вместе с болееплотными пакетами добавляет хозяина возможностей, окружающих возможностей выравнивания точности, которые могут значительно нетерпимость отказа ударного устройства и, в конечном счете, выхода и цены. Новая серия EVG-NT предлагает драматически увеличенную точность юстировки -- в границах 1 um вниз до 0,1 um -- для изготовления предварительного MEMS, сложный полупроводник, кремни-основал силу, 3D IC и приборы нанотехнологии -- не похож на что-нибудь еще на рынке. Первые блоки новых систем NT уже были установлены на местоположения клиента всемирно и прошли проверки соответствия условиям.

«Структурное представление герметичности и, в конечном счете, прибора плотно сжато неточностями выравнивания в течении производственного процесса, увеличивая общую стоимость изготавливания,» сказал Паылю Lindner, директору технологии EVG исполнительному. «Хозяин переменных величин, котор нужно рассматривать в процессе производства который может повлиять на точность юстировки -- включая материалы температуры и субстрата -- и движение к более малым, болееплотным пакетам значительно обостряет проблему. В выполнять наше принятие окончательного решения к включать наших клиентов, мы вводили серию EVG-NT для того чтобы разрешить эти вопросы. Мы довольный для того чтобы сообщить что клиенты уже квалифицировали наши первые системы в поле, и что данные подтверждали наши закавыченные спецификации. Это завет к нашему триппелю «я» общее соображение изобретаю, innovate и инструмент, и мы смотрим вперед к нажимать габарит в включать потребности изготавливания следующего поколени.»

Системы выравнивания и измерения следующего поколени характеристик серии EVG-NT с значительно увеличенной точностью выравнивания. Серия составлена следующих aligners маски, aligner скрепления W2W, и системы измерения выравнивания.

Aligners Маски: EVG620NT и EVG6200NT

Aligners маски EVG620NT и EVG6200NT -- что регулируют размеры субстратов старт с меньш чем 5 mm до 150 mm и от 3 дюймов до 200 mm, соответственно -- характеристики предложения новые современные, включая основание гранита, активную изоляцию вибрации и линейные моторы для того чтобы соотвествовать более высокой точности и объём. Построено на EVG самые гибкие и самые разносторонние платформы aligner, эти новые системы позволяют изготовления легко вычислить по маштабу между усилиями R&D к изготавливанию тома в простом взаимнооднозначном отростчатом переходе от ручного режима к полной автоматизации. Легкость пандуса-вверх к изготавливанию тома соединенному с улучшениями точностей юстировки -- вниз до 0,1 um -- поставьте значительно преимущества (CoO) цен--владением.

Aligner W2W Bonder: SmartViewNT

Процессы Множественной вафли штабелируя и скрепляя требуют точности юстировки <1 um. Для того чтобы соотвествовать этот, SmartViewNT использует революционный высокоточный этап выравнивания который состоит из микроскопов верхней части и дн-стороны для того чтобы обеспечить самую высокую степень точности. Этот разносторонний скрепленный aligner может также отрегулировать все типы выравниваний, включая W2W, заднюю сторону и ультракрасное прозрачное. Начальные результаты для выравниваний W2W продемонстрировали um лицом к лицу точность юстировки <0.3, исключая потребность для post-processing шагает как производить ключи выравнивания задней стороны и, котор двойн-встали на сторону полировать -- включать более низкий CoO. В сравнении сторон--стороны SmartViewNT к своей предшественнице, точности юстировки увеличили больше чем 60%, 300%, и 40% для SmartView, задней стороны и прозрачных выравниваний, соответственно -- позволять система эффектно адресовать строгие требования к точности.

Система Измерения Выравнивания: EVG40NT

EVG40NT конструировано для того чтобы выполнить сильно точное измерение без разрушения точности юстировки одиночных и, котор двойн-встали на сторону составленных вафель, так же, как скрепляет интерфейсы. Эта новая система отжимает ограничение обычного микроскопа двойн-взгляда и ультракрасных систем, который полагаются на громоздкой и требующий много времени процедуре для того чтобы откалибрировать оптически ось. EVG40NT сильно гибкий инструмент который может быстро обеспечить неограниченное количество пунктов измерения через поверхность вафли. Сравнено к предыдущему поколению, объём серий NT улучшает до 5 складывает, предлагающ 200-300 измерений в час. Дополнительно, пока отростчатый иждивенец, результаты показывал увеличение точности 60% производящ точность измерения <0.2 um. Эти результаты сильно repeatable и возпроизводимы с вероятностью статистики >99%.

EVG сообщает что каждая система от своего семейства NT уже была установлена и была квалифицирована изготовлениями ведущей кромки глобально.

Приглашают посетить Редакторы интересуемые в учить больше о новой сюите NT инструментов будочку EVG расположенную в Hall 4A, Будочке #206 на SEMICON Японии 2008, котор держат 3-ье-5 декабря в Chiba, Японии.

Last Update: 14. January 2012 16:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit