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EV 组介绍直线对准器和测量系统新的套件 MEMS、纳米技术和半导体市场的

Published on December 1, 2008 at 6:33 PM

EV 组 (EVG),薄酥饼 MEMS 的,纳米技术和半导体市场接合和石版印刷设备的主导的供应商,今天引入 NT 串联 -- 屏蔽直线对准器、薄酥饼对薄酥饼 (W2W) 债券直线对准器和测量系统一个新,已经现场以证实的套件 -- 解决对更高的精度对准线准确性的增长的需要。 对更小的几何的班次以及更加功能密集的程序包添加许多挑战,周围的精确度对准线功能,能非常地影响设备故障不宽容,并且,根本地,产生和花费。 新的 EVG-NT 串联提供巨大增加的对准线准确性 -- 在 1 范围内 um 下来到 0.1 um -- 对先进的 MEMS、化合物半导体、基于硅的功率、 3D 集成电路和纳米技术设备制造 -- 不同于别的在市场上。 新的 NT 系统的第一单位在客户地点已经被安装了全世界并且通过了验收试验。

“结构上的完整性,并且,根本地,设备性能由在生产过程中的对准线不精确性影响,增加制造的费用合计”, EVG 的行政技术主任说保罗 Lindner。 “有要考虑的许多变量在可能影响对准线准确性的制造过程中 -- 包括温度和基体材料 -- 并且对更小,更加功能密集的程序包的移动非常地使这个问题恶化。 在履行我们的对启用我们的客户的承诺,我们引入 EVG-NT 串联解决这些问题。 我们高兴地报告客户已经合格了我们的在这个域的第一个系统,并且数据确认了我们的被引述的说明。 这是遗嘱对我们的三倍 ‘我’哲学发明,创新和实施,并且我们盼望推进在启用下一代制造需要的信包”。

EVG-NT 串联功能与显著增加的对准线精确度的下一代对准线和测量系统。 串联由下列屏蔽直线对准器、 W2W 债券直线对准器和对准线测量系统组成。

屏蔽直线对准器: EVG620NT 和 EVG6200NT

EVG620NT 和 EVG6200NT 屏蔽直线对准器 -- 哪些处理基体的范围从少于 5 mm 开始 150 mm 和从 3 英寸 200 mm,分别 -- 聘用新的科技目前进步水平功能,包括符合更高的精度和处理量要求的花岗岩基础、有效的隔振和直线电动机。 编译在最灵活的 EVG 和最多才多艺的直线对准器平台,这些新的系统使制造商容易地称在 R&D 工作成绩之间到在简单的一对一的处理调用的数量制造从手动模式到充分的自动化。 对数量制造的舷梯方便加上对准线准确性改善 -- 下来到 0.1 um -- 提供重大的费用所有权 (CoO)福利。

W2W Bonder 直线对准器: SmartViewNT

多个薄酥饼堆积的和结合的进程要求 <1 的对准线准确性 um。 要接受此挑战, SmartViewNT 使用包括顶的一个革命高精密度的对准线阶段和底层侧显微镜保证最高的准确度。 此多才多艺的政券直线对准器可能也处理对准线的所有类型,包括 W2W,后侧方和红外透明。 W2W 对准线的原始结果展示了 <0.3 um 面对面的对准线准确性,消灭对后加工的需要跨步例如生成后侧方对准线关键字和两面擦亮 -- 启用更低的咕咕声。 在 SmartViewNT 的一个并行的比较对其前辈的,对准线准确性增加了由超过 60%, 300% 和 40% 为 SmartView、后侧方和透明对准线,分别 -- 使系统有效解决严密精确度需求。

对准线测量系统: EVG40NT

EVG40NT 被设计进行单一和两面的构建的薄酥饼的极为准确的非破坏性的对准线准确性评定,以及结合界面。 此新的系统解决常规二重视图显微镜和红外系统的限制,依靠一个笨重和费时的程序校准光纤轴。 EVG40NT 是可能迅速提供在薄酥饼表面间的无限数目的评定点的一个高度灵活的工具。 与早先生成比较, NT 串联的处理量改进五折叠,提供每时数 200-300 个评定。 另外,而处理受抚养者,结果显示了一个 60% 准确性增量导致 <0.2 的评定准确性 um。 这些结果是高度可重复和再现的与统计数据概率 >99%。

EVG 报道前进制造商已经安装了从其 NT 系列的每个系统并且全球性地合格了。

对了解更多感兴趣的编辑关于工具新的 NT 套件在千叶,日本被邀请参观位于厅的 EVG 的摊 4A, SEMICON 的 2008 摊 #206 被暂挂的日本 12月 3-5。

Last Update: 14. January 2012 09:01

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