Tegal Δέχεται Τάξης για Endeavor σε περίπτωση αναβάθμισης συμπλέγματος PVD εργαλείων από τα βασικά συστατικά διαχείρισης ενέργειας Maker

Published on January 15, 2009 at 5:46 PM

Tegal Corporation (Nasdaq: TGAL) , ένας κορυφαίος σχεδιαστής και κατασκευαστής των πλάσμα χαράζει και συστημάτων, που χρησιμοποιείται στην παραγωγή ημιαγωγών ενέργειας, MEMS, και οπτοηλεκτρονικών συσκευών, ανακοίνωσε σήμερα ότι η Εταιρεία έλαβε μια παραγγελία για μια προσπάθεια αναβάθμισης AT σύμπλεγμα PVD εργαλείων από ο κορυφαίος παγκόσμιος κατασκευαστής των στοιχείων διαχείρισης ισχύος για τις επικοινωνίες, ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης, καθώς και βιομηχανικές αγορές. Η Endeavor σε περίπτωση αναβάθμισης του συστήματος PVD θα κυκλοφορήσει το πρώτο τρίμηνο του CY2009, και θα χρησιμοποιηθεί από τον πελάτη Tegal να επεκτείνει την οικογένεια των λεπτών εφαρμογών wafer πυριτίου πίσω πλευρά επιμετάλλωση τώρα τρέχει σε μαζική παραγωγή σε εθνικό, με πιστοποίηση ISO fab πλακιδίων του πελάτη.

"Επιτυχημένη εμπειρία των πελατών μας παραγωγή με την ανώτερη χειρισμού πλακιδίων, πρόσφυση ταινία και ταινία ευτηκτικό δυνατότητες δημιουργίας της Endeavor AT σύστημα PVD σε λεπτές εφαρμογές επιμετάλλωση γκοφρέτα πίσω πλευρά οδήγησε σε αυτή τη σειρά αναβάθμιση εργαλείο, και είμαστε στην ευχάριστη θέση να έχει κερδίσει αυτή την επιχείρηση επανάληψης, », δήλωσε ο Paul Werbaneth, Αντιπρόεδρος - Marketing, Tegal Corporation. «Από τη στιγμή Endeavor τους σε εργαλείο κυκλοφόρησε στη μαζική παραγωγή, τον πελάτη μας είδε να αποδειχθεί εμπορικά πλεονεκτήματα που απορρέουν από την S-Gun PVD διεργασίες που τρέχουν στο Endeavor AT, και, ως εκ τούτου, αποφάσισαν τώρα να αναβαθμίσει εργαλείο προσπάθειά τους με στόχο την επέκταση τη διαδικασία και τις ικανότητες παραγωγής του συστήματος. "

Η Tegal Endeavor AT σύστημα είναι ένα state-of the-art, εξαιρετικά υψηλό κενό εργαλείο διασποράς PVD χρησιμοποιούνται στην παραγωγή fabs να καταθέσουν συνεπής, μεμβράνες υψηλής καθαρότητας, με χαμηλή έως μηδενική τιμές της καταπόνησής τους, σε μια εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον διαδικασία. Οι ταινίες χαμηλού στρες χρησιμοποιείται ευρέως σε επιμετάλλωση πίσω πλευρά για την εξουσία και διακριτές συσκευές, υπο-πρόσκρουση επιμετάλλωση εφαρμογές, προηγμένα συσκευασία, υψηλής φωτεινότητας διόδους εκπομπής φωτός (HB-LEDs), και στη δημιουργία ηλεκτρο-ακουστικές συσκευές για BAW, FBAR, και RF εφαρμογές MEMS. Η Endeavor AT έχει ένα εύκολο στη χρήση GUI, secs / GEM επικοινωνίας, αξιόπιστου χαμηλού επαφή χειρισμού πλακιδίων, και ευέλικτο σχήμα πλακιδίων και την ικανότητα του μεγέθους, που κάνουν το εργαλείο Endeavor ιδανικό για εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον παραγωγής και για τα δύο front-side και back-side εφαρμογές. Προαιρετική χωρίς φθορές soft-etch ενότητες, και μια ποικιλία από DC, AC, και RF magnetron διαμορφώσεις, είναι στη διάθεση διασκόρπισης των πολλών διαφορετικών διηλεκτρικό και αγώγιμο φιλμ που χρησιμοποιούνται στις τεχνολογίες ημιαγωγών, MEMS, και άλλων ηλεκτρονικών συσκευών παραγωγής.

Last Update: 3. October 2011 11:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit