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Tegal 收到努力的订单在 PVD 字符串工具升级从专业功率管理元件组装者

Published on January 15, 2009 at 5:46 PM

Tegal Corporation (那斯达克:TGAL),用于功率半导体、 MEMS 和光电子设备的生产的等离子铭刻一个主设计师和制造商和证言系统,今天宣布公司收到了努力的一份订单在 PVD 字符串工具升级从功率通信、家电和行业市场的管理要素一个主导的全球制造商。 在 PVD 系统升级的努力在第一季度将运送 CY2009 和由 Tegal 的客户使用扩展现在运行在批量生产在这个客户的国内, ISO 被确认的薄酥饼的稀薄的硅片后侧方金属化应用套件很好。

“我们的与处理这个优越的薄酥饼的客户的成功的生产经验,影片黏附力,并且努力的影片共晶创建功能在 PVD 系统的在稀薄的薄酥饼后侧方金属化应用导致此工具升级顺序,并且我们高兴地获得了此重复商业”,说保罗 Werbaneth, Marketing, Tegal Corporation 副总统 -。 “一旦他们的在工具的努力被释放到批量生产,我们的客户看到了可示范的商业好处起因于运行在努力的 S 枪 PVD 进程在,并且,结果,现在决定升级他们的努力工具为了扩展这个系统的进程和生产功能”。

在系统的 Tegal 努力是用于生产 fabs 的科技目前进步水平,超高真空 PVD 字符串工具存款一致,高纯度影片,与低到零的重点值,在一个非常干净的处理环境里。 低重点影片广泛使用在后侧方金属化为功率和分离设备,以下爆沸金属化应用,提前的包装,高亮光发光二极管 (乙肝 LEDs) 和在创建电声的设备为 BAW、 FBAR 和 RF MEMS 应用。 努力在有一份易用 GUI, SECS/GEM 通信、处理可靠的低联络的薄酥饼和灵活的薄酥饼形状和范围功能,做超干净的生产环境的努力工具理想前侧和后侧方应用的。 选项无损的软铭刻模块和各种各样的 DC、 AC 和 RF 磁控管配置,是可用飞溅许多另外用于半导体、 MEMS 和其他电子设备生产的电介质和导电性影片。

Last Update: 14. January 2012 07:32

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