Posted in | Nanolithography

SUSS MicroTec Stellt Zweite Generation ACS300 für das Beschichten, Backen und sich Entwickeln von Wafers bis zu 300mm vor

Published on January 19, 2009 at 11:13 PM

Bei Semicon Korea 2009, SUSS MicroTec (FWB: SMH) (GER: SMH) vorgestellt der zweiten Generation seines ACS300, einem Baukastenprinzip für das Beschichten, Backen und sich Entwickeln von Wafers bis zu 300mm. Das ACS300 Gen2 bietet nicht angepasste Flexibilität der Konfiguration zu Markt-führenden Kosten des Besitzes an.

Modularer Mantel Frontview ACS300 Gen2/glühen,/entwickeln Anlage von SUSS MicroTec (Foto: Business Wire)

Die Anlagenarchitektur- und -prozessblöcke werden speziell dem Bedarf des hoch entwickelten Verpackens angepasst und Industrie der Integration 3D, die sehr starkes Foto benötigt, widerstehen Schichten von bis 100 Mikrons und von mehr. Gut Kombinierend im Klassenmantel und entwickeln Sie Einheitlichkeit mit außergewöhnlicher Randraupenleistung macht das ACS300 Gen2 die bevorzugte Lösung für verschiedene spezielle Drehbeschleunigungsbeschichtungsanwendungen solche lichtempfindlichen Polymere wie Polyimide, PBO oder Cyclotene™ (BCB).

Das ACS300 Gen2 setzt den Erfolg des vorangehenden Baumusters, ACS300Plus mit den Entwicklungen fort, die unten Ausstattungskosten treiben und dehnt Gesamtgeräten-Leistungsfähigkeit und das Herunterschrauben des Abdruckes aus.

„Die spezifischen Anforderungen für das waagerecht ausgerichtetes Verpacken des Wafers und Integration 3D Ansprechend, wird das neue ACS300 mit verschiedenen verpackenden spezifischen Merkmalen, das sie speziell entsprochen für Anwendungen wie das stoßende Lötmittel macht, das stoßende Gold ausgerüstet, oder Wiederverteilungsschichten,“ sagte Rolf-Wolf, Generaldirektor der Lithographie-Abteilung SUSS MicroTec. „Die nächste Generation ACS300 hilft endgültig SUSS MicroTec, um seine führende Stellung des Marktes auf dem Gebiet des hoch entwickelten Verpackens, und des Ausdehnens es fortzusetzen und weiter zu erweitern in aufbereitendes 3D.“

Am 20. Januar Bekannt gegeben. 2009

Last Update: 14. January 2012 13:27

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit