Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanolithography

SUSS Microtec lanserar andra generationen av ACS300 för Coating, bakning och utvecklingsländerna för wafers upp till 300mm

Published on January 19, 2009 at 11:13 PM

Vid Semicon Korea 2009, SUSS Microtec (FWB: SMH) (GER: SMH) presenterades den andra generationen av sin ACS300, ett modulärt system för beläggning, bakning och utveckling av wafers upp till 300 mm. Den ACS300 Gen2 erbjuder oöverträffad konfiguration flexibilitet marknadsledande ägandekostnad.

Frontview ACS300 Gen2 modulär rock / baka / utveckla systemet från SUSS Microtec (Foto: Business Wire)

Systemarkitektur och moduler process är särskilt anpassade till behoven hos den avancerade förpackningar och 3D integration industri, vilket kräver mycket tjocka foto motstå lager upp till 100 mikrometer och mycket mer. Kombinera bäst i klassen päls och utveckla enhetlighet med exceptionella kanten pärla prestanda gör ACS300 Gen2 föredras för olika speciella tillämpningar spin-beläggning så ljuskänslig polymerer som polyimid, PBO eller Cyclotene ™ (BCB).

Den ACS300 Gen2 fortsätter framgångarna för de föregående modell, ACS300Plus med utvecklingen driver utrustningen kostnaden nere, som sträcker Overall Equipment Efficiency och nedtrappning av fotavtryck.

"Att hantera de särskilda kraven för wafernivå förpackningar och 3D integration den nya ACS300 är utrustad med olika förpackningar specifika funktioner, vilket gör den speciellt lämpad för applikationer som löd stöta, guld krocka eller lager omfördelning", säger Rolf Wolf, General Manager för SUSS Microtec Litografi Division. "Nästa generations ACS300 kommer definitivt hjälpa SUSS Microtec att fortsätta och ytterligare expandera sin marknadsledande position inom avancerade förpackningar och utvidga den till 3D behandling."

Postat 20 januari. 2009

Last Update: 4. October 2011 09:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit