Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

EV-Gruppe Demonstriert Anhaltende MEMS-Führung Rund Um Den Globus Mit Ordnungs-Gewinn Von Samsungs-Galvano-Mechanikern

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EV Gruppe (EVG), führend Lieferant von Wafer Masseverbindung und Lithographie Gerät für MEMS, wählten Nanotechnologie- und Halbleitermärkte, kündigte heute dieses führende Koreanische Bauteile Hersteller an, Samsungs-Galvano-Mechaniker Co., Ltd. (SEMCO), das EVG810LT der Firma, ein Niedrigtemperatur aus (R) Plasmaaktivierungsanlage, denn sein R&D-Arbeitsmiteinbeziehen gestapelt und Einheiten 3D MEMS. Das Hilfsmittel ist im März, nach erfolgreichen Vorführungen am Cleanroomteildienst EVGS in Österreich versendet und eingebaut.

Das EVG810LT ist eine einzelne Kammer, unabhängige Plasmaaktivierungsanlage für niedrigtemperaturmasseverbindung für bis 200 mm-Wafers. Plasma-Aktivierungstechnologie EVGS aktiviert revolutionäre Hochoberfläche Energiemasseverbindung an der Fusion/an den molekularen und Zwischenschichten, mit dem Ergebnis der Anleihen mit den Bruchstärken, die Massensilikon zu den kürzeren Glühdauern überschreiten. Seine niedrigtemperatur, Geschlossenkammer Auslegungsangebote kleben Oberflächeneinheitlichkeit über einer großen Auswahl von thermisch-empfindlichen Materialien, einschließlich Silikon-basierte Halbleiter, Verbindungshalbleiter, Glas und Polymere. Die mäßigen - reichend von der Raumtemperatur bis zu 400 Grad C - Ergebnisse des niedrigen Ausglühens in den Druck-freien, Verzerrung-freien, ausgerichteten Substratflächen, Verpackungskosten für MEMS-Einheiten schließlich senkend.

„Wir werden am Holen von führenden MEMS-Einheiten, um zu vermarkten und auf diese Art, werden fokussiert auf dem Verbessern der Qualität festgelegt und Leistung zukünftigen 3D und der gestapelten MEMS-Einheiten,“ sagte Dr. Jae Woo Joung, Generaldirektor von Samsungs-Galvano-Mechanikern Co., Ltd. „Der Reihe nach, schauen wir, um uns mit Firmen zusammenzutun, die die spätesten Herstellungsanflüge, die Prozesssachkenntnis und die Halterung entbinden können, um uns zu helfen, unsere Ziele zu verwirklichen. Plasma-Aktivierungstechnologie EV-Gruppe nachgewiesen, unsere zwingenden Bedingungen zu erfüllen - die hohe Zuverlässigkeit anbietend und hochwertige aufbereitende Ergebnisse, die wir verlangen nach unseren Produkten.“

Dr. Weonsik Yang, Generaldirektor bei EV Group Korea Ltd., beachtet, „, Während der Koreanische Markt fortfährt, seine technologischen Entwicklungen zu erhöhen und zu steigen, um in der globalen MEMS-Arena zu konkurrieren, EVG wird erregt, um die Gelegenheit zu haben, mit einem Industriepionier und -führer, wie Samsungs-Galvano-Mechanikern Co. nah zu arbeiten, LTD. Wir werden extrem dem Aktivieren unserer Abnehmer in dieser Region eingesetzt und schauen vorwärts zu den zukünftigen kooperativen Bemühungen mit SEMCO.“

Last Update: 14. January 2012 13:27

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit