El Grupo de EV Demuestra Liderazgo Continuado de MEMS En el mundo entero Con Triunfo de la Orden de los Electro-Mecánicos de Samsung

Published on January 20, 2009 at 6:19 PM

EV Grupo (EVG), de cabeza surtidor de fulminante vinculación y litografía equipo para MEMS, los mercados de la nanotecnología y del semiconductor, anunció hoy ese los componentes Coreanos principales fabricante, Electro-Mecánicos Co., LTD. (SEMCO) de Samsung, seleccionaron el EVG810LT de la compañía, un A baja temperatura (R) sistema de la activación del plasma, porque su participación del trabajo de R&D empilada y los dispositivos de 3D MEMS. La herramienta será expidida e instalada en marzo, después de demostraciones acertadas en el recurso del recinto limpio de EVG en Austria.

El EVG810LT es un único compartimiento, sistema independiente de la activación del plasma para la vinculación a baja temperatura para los fulminantes de hasta 200 milímetros. La tecnología revolucionaria de la activación del plasma de EVG activa la vinculación de la energía de la alto-superficie en la fusión/las capas moleculares e intermedias, dando por resultado bonos con las fuerzas de la fractura que exceden el silicio a granel en tiempos de esmaltación más cortos. Su uniformidad superficial en enlace a baja temperatura, del cerrado-compartimiento del diseño de las ofertas a través de una amplia gama de materiales térmico-sensibles, incluyendo los semiconductores silicio-basados, los semiconductores compuestos, el cristal y los polímeros. Los resultados templados de la esmaltación inferior - colocando de temperatura ambiente hasta 400 grados de C - en los substratos tensión-libres, alabeo-libres, alineados, bajando final el empaquetado cuestan para los dispositivos de MEMS.

“Estamos comprometidos a traer los dispositivos marginales de MEMS para comercializar, y de este modo, estamos centrados en mejorar la calidad y funcionamiento de la siguiente-generación 3D y de los dispositivos empilados de MEMS,” dijo al Dr. Jae Woo Joung, director general de los Electro-Mecánicos Co., LTD de Samsung. “A su vez, estamos observando para partner con las compañías que pueden entregar las últimas aproximaciones de la fabricación, la experiencia de proceso y el soporte para ayudarnos a realizar nuestras metas. Tecnología de la activación del plasma del Grupo de EV demostrada cumplir nuestros requisitos rigurosos - ofreciendo la alta confiabilidad y resultados de tramitación de alta calidad que exigimos para nuestros productos.”

El Dr. Weonsik Yang, director general en EV Group Korea Ltd. , observado, “A Medida Que el mercado Coreano continúa aumentar sus progresos tecnológicos y subir para competir en la arena global de MEMS, EVG se excita para tener la oportunidad de trabajar de cerca con un innovador y un arranque de cinta de la industria, tal como Electro-Mecánicos Co. de Samsung, LTD. Nos dedican extremadamente a activar a nuestros clientes en esta región, y observamos hacia adelante a los esfuerzos colaborativos futuros con SEMCO.”

Last Update: 17. January 2012 04:56

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